បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសត្រូវបានទទួលស្គាល់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ភាពស្និទ្ធស្នាលនឹងបរិស្ថាន ប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្តខ្ពស់ជាង។ នៅក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម ឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសជាទូទៅត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ជាពីរប្រភេទសំខាន់ៗ៖ ការដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD) និងការដាក់ចំហាយគីមី (CVD)។
ប្រព័ន្ធដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD) រួមមានបច្ចេកវិទ្យាហួត ការបាញ់ទឹក និងការដាក់អ៊ីយ៉ុង។ ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតហួតប្រើប្រាស់វិធីសាស្ត្រកំដៅផ្សេងៗដើម្បីហួតសម្ភារៈថ្នាំកូត ដូចជាការហួតដោយកំដៅធន់ ការហួតដោយធ្នឹមអេឡិចត្រុង (E-beam) ការហួតដោយកំដៅអាំងឌុចស្យុង និងការហួតដោយធ្នូ។ ម្យ៉ាងវិញទៀត ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតបាញ់ទឹក ពឹងផ្អែកលើការបញ្ចេញអាតូមគោលដៅដែលបង្កឡើងដោយប្លាស្មា និងរួមបញ្ចូលការបាញ់ទឹកចរន្តផ្ទាល់ (DC) ការបាញ់ទឹកប្រេកង់វិទ្យុ (RF) ការបាញ់ទឹកម៉ាញ៉េត្រុង និងដំណើរការបាញ់ទឹកប្រតិកម្ម។ ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងផ្សំយន្តការប្លាស្មា និងការហួត ឬការបាញ់ទឹកដើម្បីបង្កើនភាពស្អិត និងដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត ជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាធម្មតារួមមានការបាញ់ទឹកអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត ការបាញ់ទឹកអ៊ីយ៉ុងម៉ាញ៉េត្រុង និងការបាញ់ទឹកអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោង។
ប្រព័ន្ធការដាក់ចំហាយគីមី (CVD) ពាក់ព័ន្ធនឹងប្រតិកម្មគីមីនៃសារធាតុផ្សំឧស្ម័នដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងរឹងលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ បច្ចេកវិទ្យា CVD ទូទៅរួមមាន ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធបរិយាកាស (APCVD) ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាប (LPCVD) ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា (PECVD) ការដាក់ចំហាយគីមីលោហៈ-សរីរាង្គ (MOCVD) និងការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD) ដែលបច្ចេកវិទ្យានីមួយៗស័ក្តិសមនឹងប្រព័ន្ធសម្ភារៈ និងតម្រូវការដំណើរការផ្សេងៗគ្នា។
បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសត្រូវបានអនុវត្តយ៉ាងទូលំទូលាយនៅទូទាំងឧស្សាហកម្មជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងការផលិតរថយន្ត គ្រឿងអេឡិចត្រូនិច និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចប្រើប្រាស់ (ដូចជាស្មាតហ្វូន) ឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ក្នុងផ្ទះ សម្ភារៈអនាម័យ ផលិតផលគីមីប្រចាំថ្ងៃ គ្រឿងបន្លាស់តុបតែង និងសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដែលអាចបត់បែនបាន។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មេសា-០២-២០២៦