ประเภทของอุปกรณ์เคลือบผิวด้วยระบบสุญญากาศ

เทคโนโลยีการเคลือบด้วยระบบสุญญากาศเป็นที่ยอมรับอย่างกว้างขวางในด้านความเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ประสิทธิภาพสูง ความสม่ำเสมอของฟิล์มที่ดีเยี่ยม และความหนาแน่นของฟิล์มที่เหนือกว่า ในการใช้งานทางอุตสาหกรรม อุปกรณ์การเคลือบด้วยระบบสุญญากาศโดยทั่วไปจะแบ่งออกเป็นสองประเภทหลัก ได้แก่ การเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition: PVD) และการเคลือบด้วยไอระเหยทางเคมี (Chemical Vapor Deposition: CVD)

ระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition: PVD) ประกอบด้วยเทคโนโลยีการระเหย การสปัตเตอร์ และการเคลือบด้วยไอออน ระบบการเคลือบด้วยการระเหยใช้วิธีการให้ความร้อนต่างๆ เพื่อทำให้วัสดุเคลือบกลายเป็นไอ เช่น การระเหยด้วยความร้อนจากความต้านทาน การระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน (E-beam) การระเหยด้วยความร้อนจากการเหนี่ยวนำ และการระเหยด้วยอาร์ค ในทางกลับกัน ระบบการเคลือบด้วยการสปัตเตอร์อาศัยการดีดอะตอมเป้าหมายที่เกิดจากพลาสมา และรวมถึงกระบวนการสปัตเตอร์ด้วยกระแสตรง (DC) การสปัตเตอร์ด้วยคลื่นความถี่วิทยุ (RF) การสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอน และกระบวนการสปัตเตอร์แบบปฏิกิริยา ระบบการเคลือบด้วยไอออนเป็นการผสมผสานกลไกของพลาสมาและการระเหยหรือการสปัตเตอร์เพื่อเพิ่มการยึดเกาะและความหนาแน่นของฟิล์ม โดยเทคโนโลยีทั่วไป ได้แก่ การเคลือบด้วยไอออนแบบอาร์คแคโทด การเคลือบด้วยไอออนแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอน และการเคลือบด้วยไอออนแบบแคโทดกลวง

ระบบการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (Chemical Vapor Deposition: CVD) เกี่ยวข้องกับปฏิกิริยาเคมีของสารตั้งต้นที่เป็นก๊าซเพื่อสร้างฟิล์มบางที่เป็นของแข็งบนพื้นผิวของวัสดุรองรับ เทคโนโลยี CVD ที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ การตกตะกอนด้วยไอสารเคมีที่ความดันบรรยากาศ (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition: APCVD), การตกตะกอนด้วยไอสารเคมีที่ความดันต่ำ (Low Pressure Chemical Vapor Deposition: LPCVD), การตกตะกอนด้วยไอสารเคมีที่เสริมด้วยพลาสมา (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD), การตกตะกอนด้วยไอสารเคมีโลหะอินทรีย์ (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition: MOCVD) และการตกตะกอนแบบชั้นอะตอม (Atomic Layer Deposition: ALD) ซึ่งแต่ละแบบเหมาะสมกับระบบวัสดุและข้อกำหนดของกระบวนการที่แตกต่างกัน

เทคโนโลยีการเคลือบด้วยระบบสุญญากาศถูกนำไปประยุกต์ใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมหลากหลายประเภท รวมถึงการผลิตรถยนต์ อิเล็กทรอนิกส์และเครื่องใช้ไฟฟ้า (เช่น สมาร์ทโฟน) เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องใช้ในบ้าน สุขภัณฑ์ ผลิตภัณฑ์เคมีภัณฑ์ในชีวิตประจำวัน ชิ้นส่วนตกแต่ง และวัสดุฟิล์มที่มีความยืดหยุ่น

-บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศเครื่องดูดฝุ่นเจิ้นฮวา