Vakuum örtük texnologiyası ətraf mühitə uyğunluğu, yüksək səmərəliliyi, əla təbəqə vahidliyi və üstün təbəqə sıxlığı ilə geniş tanınır. Sənaye tətbiqlərində vakuum örtük avadanlığı ümumiyyətlə iki əsas kateqoriyaya bölünür: Fiziki Buxar Çökməsi (PVD) və Kimyəvi Buxar Çökməsi (CVD).
Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD) sistemlərinə buxarlanma, püskürtmə və ion örtük texnologiyaları daxildir. Buxarlanma örtük sistemləri örtük materiallarını buxarlandırmaq üçün müqavimətli qızdırma buxarlanması, elektron şüası buxarlanması (E-şüa), induksiyalı qızdırma buxarlanması və qövs buxarlanması kimi müxtəlif qızdırma metodlarından istifadə edir. Digər tərəfdən, püskürtmə örtük sistemləri plazma ilə induksiya edilmiş hədəf atomunun atılmasına əsaslanır və birbaşa cərəyan (DC) püskürtmə, radiotezlikli (RF) püskürtmə, maqnetron püskürtmə və reaktiv püskürtmə proseslərini əhatə edir. İon örtük sistemləri plazma və buxarlanma və ya püskürtmə mexanizmlərini birləşdirərək, film yapışmasını və sıxlığını artırır, tipik texnologiyalara isə katod qövs ion örtüyü, maqnetron püskürtmə ion örtüyü və boş katod ion örtüyü daxildir.
Kimyəvi Buxar Çökdürmə (KÇÇ) sistemləri, qaz prekursorlarının substrat səthlərində bərk nazik təbəqələr əmələ gətirmək üçün kimyəvi reaksiyalarını əhatə edir. Ümumi KÇÇ texnologiyalarına Atmosfer Təzyiqi ilə Kimyəvi Buxar Çökdürmə (APCVD), Aşağı Təzyiqli Kimyəvi Buxar Çökdürmə (LPCVD), Plazma ilə Gücləndirilmiş Kimyəvi Buxar Çökdürmə (PECVD), Metal-Üzvi Kimyəvi Buxar Çökdürmə (MOCVD) və Atom Təbəqə Çökdürmə (ALD) daxildir ki, bunların hər biri müxtəlif material sistemlərinə və proses tələblərinə uyğundur.
Vakuum örtük texnologiyaları avtomobil istehsalı, elektronika və istehlakçı elektronikası (məsələn, smartfonlar), yarımkeçiricilər, məişət texnikası, santexnika, gündəlik kimyəvi məhsullar, dekorativ komponentlər və elastik film materialları da daxil olmaqla geniş sahələrdə tətbiq olunur.
-Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük avadanlığı istehsalçısıZhenhua Tozsoran
Yazı vaxtı: 02 Aprel 2026