Tehnologia de acoperire în vid este recunoscută pe scară largă pentru respectul față de mediu, eficiența ridicată, uniformitatea excelentă a peliculei și densitatea superioară a peliculei. În aplicațiile industriale, echipamentele de acoperire în vid sunt în general clasificate în două categorii principale: Depunere fizică din vapori (PVD) și Depunere chimică din vapori (CVD).
Sistemele de depunere fizică în fază de vapori (PVD) includ tehnologii de evaporare, pulverizare catodică și placare cu ioni. Sistemele de acoperire prin evaporare utilizează diverse metode de încălzire pentru vaporizarea materialelor de acoperire, cum ar fi evaporarea prin încălzire prin rezistență, evaporarea cu fascicul de electroni (fascicul E), evaporarea prin încălzire prin inducție și evaporarea cu arc. Sistemele de acoperire prin pulverizare catodică, pe de altă parte, se bazează pe ejecția atomilor țintă indusă de plasmă și includ procese de pulverizare în curent continuu (DC), pulverizare în radiofrecvență (RF), pulverizare cu magnetron și pulverizare reactivă. Sistemele de placare cu ioni combină mecanismele de plasmă și evaporare sau pulverizare catodică pentru a îmbunătăți aderența și densitatea peliculei, tehnologiile tipice incluzând placarea cu ioni cu arc catodic, placarea cu ioni prin pulverizare cu magnetron și placarea cu ioni cu catod gol.
Sistemele de depunere chimică din vapori (CVD) implică reacții chimice ale precursorilor gazoși pentru a forma pelicule subțiri solide pe suprafețele substratului. Tehnologiile CVD comune includ depunerea chimică din vapori la presiune atmosferică (APCVD), depunerea chimică din vapori la presiune joasă (LPCVD), depunerea chimică din vapori îmbunătățită cu plasmă (PECVD), depunerea chimică din vapori metalo-organică (MOCVD) și depunerea în straturi atomice (ALD), fiecare fiind potrivită pentru diferite sisteme de materiale și cerințe de proces.
Tehnologiile de acoperire în vid sunt aplicate pe scară largă într-o gamă largă de industrii, inclusiv în producția de automobile, electronică și electronică de larg consum (cum ar fi smartphone-urile), semiconductori, electrocasnice, articole sanitare, produse chimice de zi cu zi, componente decorative și materiale flexibile pentru folii.
-Acest articol a fost publicat deproducător de echipamente de acoperire în vidAspirator Zhenhua
Data publicării: 02 aprilie 2026