Lofttæmishúðunartækni er almennt viðurkennd fyrir umhverfisvænni sína, mikla skilvirkni, framúrskarandi einsleitni filmu og yfirburða filmuþéttleika. Í iðnaðarnotkun er lofttæmishúðunarbúnaður almennt flokkaður í tvo meginflokka: Eðlisfræðilega gufuútfellingu (PVD) og efnafræðilega gufuútfellingu (CVD).
Eðlisfræðileg gufuútfellingarkerfi (PVD) fela í sér uppgufunar-, spúttunar- og jónahúðunartækni. Uppgufunarhúðunarkerfi nota ýmsar hitunaraðferðir til að gufa upp húðunarefni, svo sem viðnámshitunargufun, rafeindageislagufun (E-geisla), spanhitunargufun og bogagufun. Spúttunarhúðunarkerfi, hins vegar, treysta á plasma-innleidda útkast markatóma og fela í sér jafnstraumsspúttrun (DC), útvarpsbylgjuspúttrun (RF), segulspúttrun og hvarfgjarna spúttunarferla. Jónahúðunarkerfi sameina plasma og uppgufunar- eða spúttunaraðferðir til að auka viðloðun og þéttleika filmu, með dæmigerðri tækni eins og kaþóðíska bogajónahúðun, segulspúttunarjónahúðun og hola kaþóðjónahúðun.
Efnafræðileg gufuútfelling (CVD) felur í sér efnahvörf loftkenndra forvera til að mynda fastar þunnar himnur á yfirborði undirlagsins. Algengar CVD tækni eru meðal annars efnafræðileg gufuútfelling við andrúmsloftsþrýsting (APCVD), efnafræðileg gufuútfelling við lágan þrýsting (LPCVD), plasmastyrkt efnafræðileg gufuútfelling (PECVD), málm-lífræn efnafræðileg gufuútfelling (MOCVD) og frumeindalagútfelling (ALD), sem hvert um sig hentar mismunandi efniskerfum og ferlakröfum.
Lofttæmishúðunartækni er mikið notuð í fjölbreyttum atvinnugreinum, þar á meðal bílaframleiðslu, rafeindatækni og neytendarafeindatækni (eins og snjallsímum), hálfleiðurum, heimilistækjum, hreinlætisvörum, daglegum efnavörum, skreytingaríhlutum og sveigjanlegum filmuefnum.
-Þessi grein var birt afframleiðandi tómarúmhúðunarbúnaðarZhenhua tómarúm
Birtingartími: 2. apríl 2026