Технологијата за вакуумско обложување е широко призната по својата еколошка прифатливост, висока ефикасност, одлична униформност на филмот и супериорна густина на филмот. Во индустриските апликации, опремата за вакуумско обложување генерално се класифицира во две главни категории: физичко таложење со пареа (PVD) и хемиско таложење со пареа (CVD).
Системите за физичко таложење со пареа (PVD) вклучуваат технологии за испарување, распрскување и јонско позлатување. Системите за обложување со испарување користат различни методи на загревање за испарување на материјалите за обложување, како што се испарување со отпорно греење, испарување со електронски зрак (E-зрак), испарување со индуктивно греење и испарување со лак. Системите за обложување со распрскување, од друга страна, се потпираат на исфрлање на атомите на целта предизвикано од плазма и вклучуваат распрскување со еднонасочна струја (DC), распрскување со радиофреквенција (RF), магнетронско распрскување и процеси на реактивно распрскување. Системите за јонско позлатување комбинираат механизми за плазма и испарување или распрскување за да ја подобрат адхезијата и густината на филмот, со типични технологии кои вклучуваат катодно лачно јонско позлатување, магнетронско распрскување со јонско позлатување и шупливо катодно јонско позлатување.
Системите за хемиско таложење со пареа (CVD) вклучуваат хемиски реакции на гасовити прекурсори за да се формираат цврсти тенки филмови на површините на подлогата. Вообичаените CVD технологии вклучуваат хемиско таложење со пареа под атмосферски притисок (APCVD), хемиско таложење со пареа под низок притисок (LPCVD), хемиско таложење со пареа засилено со плазма (PECVD), метално-органско хемиско таложење со пареа (MOCVD) и атомско слојно таложење (ALD), секоја погодна за различни материјални системи и барања на процесот.
Технологиите за вакуумско премачкување се широко применети во широк спектар на индустрии, вклучувајќи автомобилско производство, електроника и потрошувачка електроника (како што се паметни телефони), полупроводници, домашни апарати, санитарна опрема, секојдневни хемиски производи, декоративни компоненти и флексибилни филмски материјали.
- Оваа статија е објавена одпроизводител на опрема за вакуумско обложувањеЖенхуа Вакуум
Време на објавување: 02.04.2026