A vákuumos bevonatolási technológia széles körben elismert környezetbarát jellege, nagy hatékonysága, kiváló filmegyenlete és kiemelkedő filmsűrűsége miatt. Ipari alkalmazásokban a vákuumos bevonatoló berendezéseket általában két fő kategóriába sorolják: fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) és kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD).
A fizikai gőzfázisú leválasztásos (PVD) rendszerek magukban foglalják a párologtatást, a porlasztást és az ionbevonatolási technológiákat. A párologtatásos bevonórendszerek különféle fűtési módszereket alkalmaznak a bevonóanyagok elpárologtatására, mint például az ellenállásfűtéses párologtatás, az elektronsugaras párologtatás (E-sugár), az indukciós fűtéses párologtatás és az ívpárologtatás. A porlasztásos bevonórendszerek ezzel szemben a plazma által indukált célatom-kilökésen alapulnak, és magukban foglalják az egyenáramú (DC) porlasztást, a rádiófrekvenciás (RF) porlasztást, a magnetronos porlasztást és a reaktív porlasztási eljárásokat. Az ionbevonórendszerek a plazma és a párologtatás vagy porlasztás mechanizmusait kombinálják a film tapadásának és sűrűségének fokozása érdekében, a tipikus technológiák közé tartozik a katódos íves ionbevonatolás, a magnetronos porlasztásos ionbevonatolás és az üreges katódos ionbevonatolás.
A kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) rendszerek gáznemű prekurzorok kémiai reakcióit foglalják magukban, amelyek során szilárd vékony filmeket képeznek az aljzat felületén. Az elterjedt CVD-technológiák közé tartozik a légköri nyomású kémiai gőzfázisú leválasztás (APCVD), az alacsony nyomású kémiai gőzfázisú leválasztás (LPCVD), a plazmaerősítésű kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), a fémorganikus kémiai gőzfázisú leválasztás (MOCVD) és az atomréteg-leválasztás (ALD), amelyek mindegyike különböző anyagrendszerekhez és folyamatkövetelményekhez igazodik.
A vákuumbevonatolási technológiákat széles körben alkalmazzák számos iparágban, beleértve az autógyártást, az elektronikát és a szórakoztató elektronikát (például okostelefonokat), a félvezetőket, a háztartási gépeket, a szaniterárukat, a napi vegyipari termékeket, a dekorációs alkatrészeket és a rugalmas fóliaanyagokat.
-Ezt a cikket a következő publikálta:vákuumbevonó berendezések gyártójaZhenhua vákuum
Közzététel ideje: 2026. április 2.