Tiknoolajiyada dahaarka faakuumka waxaa si weyn loogu aqoonsaday saaxiibtinimo deegaan, hufnaan sare, isku mid ahaanshaha filimka, iyo cufnaanta filimka oo sareysa. Codsiyada warshadaha, qalabka dahaarka faakuumka waxaa guud ahaan loo kala saaraa laba qaybood oo waaweyn: Dahaarka Uumiga Jirka (PVD) iyo Dahaarka Uumiga Kiimikada (CVD).
Nidaamyada Dahaarka Uumiga Jirka (PVD) waxaa ka mid ah uumi-baxa, faafinta, iyo tiknoolajiyada dahaarka ion-ka. Nidaamyada dahaarka uumiga waxay adeegsadaan habab kuleylin oo kala duwan si ay u uumi-baxaan walxaha dahaarka, sida uumi-baxa kululaynta iska caabbinta, uumi-baxa shucaaca elektroonka (E-beam), uumi-baxa kululaynta kicinta, iyo uumi-baxa qaansada. Dhanka kale, nidaamyada dahaarka ee dahaarka ee dahaarka ee dahaarka ee ay keento balaasmaha waxay ku tiirsan yihiin dahaarka tooska ah ee hadda (DC), faafinta raadiyaha (RF), faafinta magnetron-ka, iyo hababka faafinta falcelinta. Nidaamyada dahaarka ion-ka waxay isku daraan plasma-ka iyo uumi-baxa ama farsamooyinka faafinta si loo xoojiyo isku-xidhka filimka iyo cufnaanta, iyadoo la adeegsanayo teknoolojiyada caadiga ah oo ay ku jiraan dahaarka ion-ka cathodic arc, dahaarka ion-ka ee magnetron-ka, iyo dahaarka ion-ka cathode-ka ee godka ah.
Nidaamyada Kaydinta Uumiga Kiimikada (CVD) waxay ku lug leeyihiin falgallada kiimikada ee horudhaca gaaska si ay u sameeyaan filimaan khafiif ah oo adag oo ku yaal dusha sare ee substrate-ka. Tiknoolajiyada caadiga ah ee CVD waxaa ka mid ah Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Cadaadiska Hawada (APCVD), Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Cadaadiska Yar (LPCVD), Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Balaasma-Kordhisay (PECVD), Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Birta-Organic (MOCVD), iyo Kaydinta Lakabka Atomiga (ALD), mid walbana wuxuu ku habboon yahay nidaamyada walxaha kala duwan iyo shuruudaha habka.
Tiknoolajiyada dahaarka faakuumka ayaa si ballaaran loogu adeegsadaa warshado kala duwan, oo ay ku jiraan wax soo saarka baabuurta, qalabka elektarooniga ah iyo qalabka elektarooniga macaamiisha (sida taleefannada casriga ah), semiconductors-ka, qalabka guryaha, qalabka nadaafadda, alaabada kiimikada maalinlaha ah, qaybaha qurxinta, iyo agabka filimada dabacsan.
-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Abriil-02-2026