Tyhjiöpinnoitustekniikka on laajalti tunnettu ympäristöystävällisyydestään, korkeasta tehokkuudestaan, erinomaisesta kalvon tasaisuudestaan ja erinomaisesta kalvon tiheydestään. Teollisissa sovelluksissa tyhjiöpinnoituslaitteet luokitellaan yleensä kahteen pääluokkaan: fysikaalinen höyrypinnoitus (PVD) ja kemiallinen höyrypinnoitus (CVD).
Fysikaalisiin höyrypinnoitusjärjestelmiin (PVD) kuuluvat haihdutus-, sputterointi- ja ionipinnoitustekniikat. Höyrystyspinnoitusjärjestelmissä käytetään erilaisia lämmitysmenetelmiä pinnoitusmateriaalien höyrystämiseen, kuten vastuslämmityshaihdutusta, elektronisuihkuhaihdutusta (E-suihku), induktiolämmityshaihdutusta ja kaarihöyrystystä. Sputterointipinnoitusjärjestelmät puolestaan perustuvat plasman indusoimaan kohdeatomin poistoon ja sisältävät tasavirta- (DC) sputterointia, radiotaajuus- (RF) sputterointia, magnetronisputterointia ja reaktiivisia sputterointiprosesseja. Ionipinnoitusjärjestelmissä yhdistyvät plasma- ja haihdutus- tai sputterointimekanismit kalvon tarttuvuuden ja tiheyden parantamiseksi, ja tyypillisiä tekniikoita ovat katodinen valokaari-ionipinnoitus, magnetronisputterointi-ionipinnoitus ja ontto katodi-ionipinnoitus.
Kemiallisessa höyrypinnoitusmenetelmässä (CVD) kaasumaiset lähtöaineet reagoivat kemiallisesti, jolloin muodostuu kiinteitä ohuita kalvoja substraattien pinnoille. Yleisiä CVD-tekniikoita ovat ilmakehän paineessa tapahtuva kemiallinen höyrypinnoitus (APCVD), matalapaineinen kemiallinen höyrypinnoitus (LPCVD), plasma-avusteinen kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD), metalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD) ja atomikerrospinnoitus (ALD), joista jokainen soveltuu erilaisiin materiaalijärjestelmiin ja prosessivaatimuksiin.
Tyhjiöpinnoitustekniikoita käytetään laajasti useilla eri teollisuudenaloilla, kuten autoteollisuudessa, elektroniikassa ja kulutuselektroniikassa (kuten älypuhelimissa), puolijohteissa, kodinkoneissa, saniteettitavaroissa, päivittäiskemikaaleissa, koriste-elementeissä ja joustavissa kalvomateriaaleissa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituslaitteiden valmistajaZhenhua-tyhjiö
Julkaisun aika: 02.04.2026