Վակուումային ծածկույթների տեխնոլոգիան լայնորեն ճանաչված է իր շրջակա միջավայրի համար անվնասության, բարձր արդյունավետության, գերազանց թաղանթի միատարրության և գերազանց թաղանթի խտության համար: Արդյունաբերական կիրառություններում վակուումային ծածկույթների սարքավորումները սովորաբար դասակարգվում են երկու հիմնական կատեգորիայի՝ ֆիզիկական գոլորշու նստեցում (ՖԳԱ) և քիմիական գոլորշու նստեցում (ՔՔԱ):
Ֆիզիկական գոլորշու նստեցման (ՖԳԱ) համակարգերը ներառում են գոլորշիացման, փոշիացման և իոնային ծածկույթապատման տեխնոլոգիաներ: Գոլորշիացման ծածկույթապատման համակարգերը օգտագործում են տարբեր տաքացման մեթոդներ ծածկույթապատման նյութերը գոլորշիացնելու համար, ինչպիսիք են դիմադրության տաքացման գոլորշիացումը, էլեկտրոնային փնջի գոլորշիացումը (E-beam), ինդուկցիոն տաքացման գոլորշիացումը և աղեղային գոլորշիացումը: Մյուս կողմից, փոշիացման ծածկույթապատման համակարգերը հիմնված են պլազմայով ինդուկցված թիրախային ատոմի արտանետման վրա և ներառում են ուղիղ հոսանքի (DC) փոշիացում, ռադիոհաճախականության (RF) փոշիացում, մագնետրոնային փոշիացում և ռեակտիվ փոշիացման գործընթացներ: Իոնային ծածկույթապատման համակարգերը համատեղում են պլազման և գոլորշիացման կամ փոշիացման մեխանիզմները՝ թաղանթի կպչունությունն ու խտությունը բարելավելու համար, որոնց բնորոշ տեխնոլոգիաները ներառում են կաթոդային աղեղային իոնային ծածկույթապատում, մագնետրոնային փոշիացման իոնային ծածկույթապատում և խոռոչ կաթոդային իոնային ծածկույթապատում:
Քիմիական գոլորշու նստեցման (ՔԳՆ) համակարգերը ներառում են գազային նախորդների քիմիական ռեակցիաներ՝ հիմքի մակերեսների վրա պինդ բարակ թաղանթներ առաջացնելու համար: ՔԳՆ տարածված տեխնոլոգիաները ներառում են մթնոլորտային ճնշման քիմիական գոլորշու նստեցում (ԱՔԳՆ), ցածր ճնշման քիմիական գոլորշու նստեցում (ԼՔԳՆ), պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցում (ՊԵԿՎ), մետաղ-օրգանական քիմիական գոլորշու նստեցում (ՄՕՔՎ) և ատոմային շերտային նստեցում (ԱԼԴ), որոնցից յուրաքանչյուրը հարմար է տարբեր նյութական համակարգերի և գործընթացային պահանջների համար:
Վակուումային ծածկույթների տեխնոլոգիաները լայնորեն կիրառվում են արդյունաբերության լայն շրջանակում, ներառյալ ավտոմոբիլային արտադրությունը, էլեկտրոնիկան և սպառողական էլեկտրոնիկան (օրինակ՝ սմարթֆոնները), կիսահաղորդիչները, կենցաղային տեխնիկան, սանտեխնիկան, ամենօրյա քիմիական արտադրանքը, դեկորատիվ բաղադրիչները և ճկուն թաղանթային նյութերը։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների սարքավորումների արտադրողՉժենհուա Վակուում
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլ-02-2026