Tehnologija vakuumskega nanašanja premazov je splošno priznana zaradi svoje okolju prijaznosti, visoke učinkovitosti, odlične enakomernosti filma in vrhunske gostote filma. V industrijskih aplikacijah se oprema za vakuumsko nanašanje premazov običajno razvršča v dve glavni kategoriji: fizikalno nanašanje iz parne faze (PVD) in kemično nanašanje iz parne faze (CVD).
Sistemi za fizično nanašanje iz pare (PVD) vključujejo tehnologije izhlapevanja, naprševanja in ionskega nanašanja. Sistemi izhlapevanja uporabljajo različne metode segrevanja za uparjanje premaznih materialov, kot so uporovno segrevanje, izhlapevanje z elektronskim žarkom (E-žarek), indukcijsko segrevanje in obločno izhlapevanje. Sistemi izhlapevanja pa se zanašajo na plazemsko induciran izmet ciljnih atomov in vključujejo enosmerno (DC) naprševanje, radiofrekvenčno (RF) naprševanje, magnetronsko naprševanje in reaktivno naprševanje. Sistemi ionskega nanašanja združujejo mehanizme plazme in izhlapevanja ali naprševanja za izboljšanje oprijema in gostote filma, pri čemer tipične tehnologije vključujejo katodno obločno ionsko nanašanje, magnetronsko naprševanje in ionsko nanašanje z votlo katodo.
Sistemi za kemično nanašanje iz parne faze (CVD) vključujejo kemijske reakcije plinastih predhodnikov, ki tvorijo trdne tanke filme na površinah substratov. Med običajne tehnologije CVD spadajo kemično nanašanje iz parne faze pri atmosferskem tlaku (APCVD), kemično nanašanje iz parne faze pri nizkem tlaku (LPCVD), kemično nanašanje iz parne faze s plazmo (PECVD), kovinsko-organsko kemično nanašanje iz parne faze (MOCVD) in nanašanje iz atomske plasti (ALD), pri čemer je vsaka primerna za različne materialne sisteme in procesne zahteve.
Tehnologije vakuumskega nanašanja premazov se pogosto uporabljajo v številnih panogah, vključno z avtomobilsko proizvodnjo, elektroniko in potrošniško elektroniko (kot so pametni telefoni), polprevodniki, gospodinjskimi aparati, sanitarno opremo, vsakodnevnimi kemičnimi izdelki, dekorativnimi komponentami in fleksibilnimi filmskimi materiali.
-Ta članek je objavilproizvajalec opreme za vakuumsko lakiranjeVakuum Zhenhua
Čas objave: 2. april 2026