Вакуум каплау технологиясе үзенең экологик яктан чиста булуы, югары нәтиҗәлелеге, пленканың бер төрлелеге һәм пленканың югары тыгызлыгы белән киң танылган. Сәнәгать кулланылышларында вакуум каплау җиһазлары, гадәттә, ике төп категориягә бүленә: Физик пар урнаштыру (PVD) һәм Химик пар урнаштыру (CVD).
Физик пар урнаштыру (ФПК) системаларына парга әйләндерү, сиптерү һәм ион белән каплау технологияләре керә. Парга әйләндерү белән каплау системалары каплау материалларын парга әйләндерү өчен төрле җылыту ысулларын куллана, мәсәлән, каршылык белән җылыту парга әйләндерү, электрон нуры белән парга әйләндерү (E-нур), индукцион җылыту парга әйләндерү һәм дуга белән парга әйләндерү. Сиптерү белән каплау системалары, киресенчә, плазма белән индукцияләнгән максатлы атом чыгаруга таяна һәм туры ток (DC) сиптерү, радиоешлык (RF) сиптерү, магнетрон сиптерү һәм реактив сиптерү процессларын үз эченә ала. Ион белән каплау системалары пленка адгезиясен һәм тыгызлыгын арттыру өчен плазма һәм парга әйләндерү яки сиптерү механизмнарын берләштерә, типик технологияләргә катод дуга белән каплау, магнетрон сиптерү белән ион белән каплау һәм буш катод белән ион белән каплау керә.
Химик пар урнаштыру (ХПК) системалары газсыман прекурсорларның химик реакцияләрен үз эченә ала, алар субстрат өслекләрендә каты юка пленкалар барлыкка китерә. Гадәти ХПК технологияләренә атмосфера басымы белән химик пар урнаштыру (APCVD), түбән басымлы химик пар урнаштыру (LPCVD), плазма белән көчәйтелгән химик пар урнаштыру (PECVD), металл-органик химик пар урнаштыру (MOCVD) һәм атом катлам урнаштыру (ALD) керә, һәрберсе төрле материал системаларына һәм процесс таләпләренә туры килә.
Вакуум каплау технологияләре автомобиль җитештерү, электроника һәм кулланучы электроникасы (мәсәлән, смартфоннар), ярымүткәргечләр, көнкүреш техникасы, санитар-техник җиһазлар, көндәлек химия продуктлары, декоратив компонентлар һәм сыгылмалы пленка материаллары кебек төрле тармакларда киң кулланыла.
-Бу мәкалә бастырып чыгарылганвакуум каплау җиһазлары җитештерүчесеЧжэньхуа чүп-чар
Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 2 апреле