Технология вакуумного напыления широко известна своей экологичностью, высокой эффективностью, превосходной однородностью и плотностью пленки. В промышленном применении оборудование для вакуумного напыления обычно подразделяется на две основные категории: физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
Системы физического осаждения из паровой фазы (PVD) включают технологии испарения, магнетронного распыления и ионного напыления. Системы нанесения покрытий методом испарения используют различные методы нагрева для испарения материалов покрытия, такие как резистивное испарение, электронно-лучевое испарение (E-beam), индукционное испарение и дуговое испарение. Системы нанесения покрытий методом магнетронного распыления, с другой стороны, основаны на выбросе атомов мишени под действием плазмы и включают в себя магнетронное распыление постоянного тока (DC), радиочастотное распыление (RF), магнетронное распыление и реактивное распыление. Системы ионного напыления сочетают в себе механизмы плазмы и испарения или магнетронного распыления для повышения адгезии и плотности пленки, при этом типичными технологиями являются катодно-дуговое ионное напыление, магнетронное ионное напыление и ионное напыление с использованием полого катода.
Системы химического осаждения из газовой фазы (CVD) включают химические реакции газообразных прекурсоров для образования твердых тонких пленок на поверхностях подложек. К распространенным технологиям CVD относятся химическое осаждение из газовой фазы при атмосферном давлении (APCVD), химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении (LPCVD), химическое осаждение из газовой фазы с плазменным усилением (PECVD), металлоорганическое химическое осаждение из газовой фазы (MOCVD) и атомно-слоевое осаждение (ALD), каждая из которых подходит для различных материальных систем и технологических требований.
Технологии вакуумного напыления широко применяются в самых разных отраслях промышленности, включая автомобилестроение, электронику и бытовую электронику (например, смартфоны), полупроводники, бытовую технику, сантехнику, товары повседневного спроса, декоративные компоненты и гибкие пленочные материалы.
Эта статья была опубликованапроизводитель оборудования для вакуумного напыленияВакуум Чжэньхуа
Дата публикации: 02.04.2026