Технологияи пӯшонидани вакуумӣ барои тозагии экологӣ, самаранокии баланд, якрангии аълои плёнка ва зичии аълои плёнка васеъ эътироф шудааст. Дар истифодаҳои саноатӣ, таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ одатан ба ду категорияи асосӣ тақсим карда мешаванд: ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD) ва ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD).
Системаҳои ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD) технологияҳои бухоршавӣ, пошидан ва пӯшиши иониро дар бар мегиранд. Системаҳои пӯшиши бухоршавӣ барои бухор кардани маводҳои пӯшиш аз усулҳои гуногуни гармкунӣ, аз қабили бухоршавии гармидиҳии муқовимат, бухоршавии шуоъи электронӣ (E-beam), бухоршавии гармидиҳии индуксионӣ ва бухоршавии камон истифода мебаранд. Аз тарафи дигар, системаҳои пӯшиши пошидан ба партоби атоми ҳадаф аз плазма такя мекунанд ва пошидани ҷараёни мустақим (DC), пошидани басомади радио (RF), пошидани магнетронӣ ва равандҳои пошидани реактивиро дар бар мегиранд. Системаҳои пӯшиши ионӣ механизмҳои плазма ва бухоршавӣ ё пошиданро барои беҳтар кардани часпиш ва зичии плёнка муттаҳид мекунанд, ки технологияҳои маъмулӣ, аз ҷумла пӯшиши ионии камони катодӣ, пӯшиши ионии пошидани магнетронӣ ва пӯшиши ионии катоди холӣ мебошанд.
Системаҳои ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD) аксуламалҳои кимиёвии прекурсорҳои газӣ барои ташкил кардани плёнкаҳои тунуки сахт дар сатҳҳои зеризаминиро дар бар мегиранд. Технологияҳои маъмули CVD иборатанд аз ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ бо фишори атмосфера (APCVD), ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ бо фишори паст (LPCVD), ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ бо тақвияти плазма (PECVD), ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ бо металл-органикӣ (MOCVD) ва ҷойгиркунии қабати атомӣ (ALD), ки ҳар кадоме барои системаҳои гуногуни мавод ва талаботи раванд мувофиқанд.
Технологияҳои пӯшонидани вакуумӣ дар доираи васеи соҳаҳо, аз ҷумла истеҳсоли автомобилҳо, электроника ва электроникаи маишӣ (масалан, смартфонҳо), нимноқилҳо, техникаи маишӣ, асбобҳои санитарӣ, маҳсулоти кимиёвии ҳаррӯза, ҷузъҳои ороишӣ ва маводҳои филми чандир ба таври васеъ истифода мешаванд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣЧангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 02 апрели соли 2026