Вакуумдық жабын технологиясы қоршаған ортаға зиянсыздығы, жоғары тиімділігі, тамаша қабықша біркелкілігі және жоғары қабықша тығыздығымен кеңінен танымал. Өнеркәсіптік қолдануда вакуумдық жабын жабдықтары әдетте екі негізгі санатқа жіктеледі: физикалық бу тұндыру (PVD) және химиялық бу тұндыру (CVD).
Физикалық бу тұндыру (ФБТ) жүйелеріне булану, шашырату және иондық қаптау технологияларын қамтиды. Буландыру жабынды жүйелері жабынды материалдарды буландыру үшін әртүрлі қыздыру әдістерін пайдаланады, мысалы, кедергімен қыздыру булану, электронды сәулемен булану (E-сәуле), индукциялық қыздыру булану және доғалық булану. Шашырату жабынды жүйелері, керісінше, плазмалық индукцияланған нысана атомының лақтырылуына негізделген және тұрақты ток (ТТ) шашыратуын, радиожиілік (РЖ) шашыратуын, магнетрондық шашыратуды және реактивті шашырату процестерін қамтиды. Иондық қаптау жүйелері пленканың адгезиясын және тығыздығын арттыру үшін плазмалық және булану немесе шашырату механизмдерін біріктіреді, ал типтік технологияларға катодтық доғалық иондық қаптау, магнетрондық шашырату иондық қаптау және қуыс катодтық иондық қаптау кіреді.
Химиялық бу тұндыру (ХБТ) жүйелері газ тәрізді прекурсорлардың химиялық реакцияларын субстрат беттерінде қатты жұқа қабықшалар түзу үшін қамтиды. Кең таралған ХБТ технологияларына атмосфералық қысыммен химиялық бу тұндыру (APCVD), төмен қысыммен химиялық бу тұндыру (LPCVD), плазмамен күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD), металл-органикалық химиялық бу тұндыру (MOCVD) және атомдық қабат тұндыру (ALD) жатады, олардың әрқайсысы әртүрлі материалдық жүйелер мен процестердің талаптарына сәйкес келеді.
Вакуумдық жабын технологиялары автомобиль өндірісі, электроника және тұтынушылық электроника (мысалы, смартфондар), жартылай өткізгіштер, тұрмыстық техника, сантехника, күнделікті химиялық өнімдер, сәндік компоненттер және икемді пленка материалдары сияқты көптеген салаларда кеңінен қолданылады.
- Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын жабдықтарын өндірушіЧжэньхуа шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 2 сәуір