Vakuumli qoplama texnologiyasi atrof-muhitga zararsizligi, yuqori samaradorligi, ajoyib plyonka bir xilligi va yuqori plyonka zichligi bilan keng tan olingan. Sanoat qo'llanmalarida vakuumli qoplama uskunalari odatda ikkita asosiy toifaga bo'linadi: Fizik bug'lanish cho'kmasi (PVD) va Kimyoviy bug'lanish cho'kmasi (CVD).
Fizik bug'lanishni cho'ktirish (PVD) tizimlari bug'lanish, purkash va ion qoplama texnologiyalarini o'z ichiga oladi. Bug'lanish qoplama tizimlari qoplama materiallarini bug'lantirish uchun turli xil isitish usullaridan foydalanadi, masalan, qarshilik bilan isitish bug'lanishi, elektron nurlari bug'lanishi (E-nur), induksion isitish bug'lanishi va yoy bug'lanishi. Boshqa tomondan, purkash qoplama tizimlari plazma tomonidan induktsiyalangan nishon atomining otilishiga tayanadi va to'g'ridan-to'g'ri tok (DC) purkash, radiochastotali (RF) purkash, magnetron purkash va reaktiv purkash jarayonlarini o'z ichiga oladi. Ion qoplama tizimlari plyonka yopishishini va zichligini oshirish uchun plyonka va bug'lanish yoki purkash mexanizmlarini birlashtiradi, odatiy texnologiyalarga katodik yoy ion qoplamasi, magnetron purkash ion qoplamasi va ichi bo'sh katod ion qoplamasi kiradi.
Kimyoviy bugʻ choʻktirish (KBCh) tizimlari gazsimon prekursorlarning substrat yuzalarida qattiq yupqa plyonkalar hosil qilish uchun kimyoviy reaksiyalarini oʻz ichiga oladi. Keng tarqalgan KBCH texnologiyalari atmosfera bosimi bilan kimyoviy bugʻ choʻktirish (APCVD), past bosimli kimyoviy bugʻ choʻktirish (LPCVD), plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bugʻ choʻktirish (PECVD), metall-organik kimyoviy bugʻ choʻktirish (MOCVD) va atom qatlami choʻktirish (ALD) ni oʻz ichiga oladi, ularning har biri turli material tizimlari va jarayon talablariga mos keladi.
Vakuumli qoplama texnologiyalari avtomobilsozlik, elektronika va maishiy elektronika (masalan, smartfonlar), yarimo'tkazgichlar, maishiy texnika, sanitariya-texnik vositalar, kundalik kimyoviy mahsulotlar, dekorativ komponentlar va moslashuvchan plyonka materiallari kabi ko'plab sohalarda keng qo'llaniladi.
-Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari ishlab chiqaruvchisiZhenhua vakuumi
Joylashtirilgan vaqt: 2026-yil 2-aprel