Tipi ta' Tagħmir tal-Kisi bil-Vakwu

It-teknoloġija tal-kisi bil-vakwu hija rikonoxxuta b'mod wiesa' għall-kompatibbiltà ambjentali tagħha, l-effiċjenza għolja, l-uniformità eċċellenti tal-film, u d-densità superjuri tal-film. F'applikazzjonijiet industrijali, it-tagħmir tal-kisi bil-vakwu ġeneralment huwa kklassifikat f'żewġ kategoriji ewlenin: Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar (PVD) u Depożizzjoni Kimika tal-Fwar (CVD).

Sistemi ta' Depożizzjoni Fiżika tal-Fwar (PVD) jinkludu teknoloġiji ta' evaporazzjoni, sputtering, u kisi joniku. Sistemi ta' kisi bl-evaporazzjoni jużaw diversi metodi ta' tisħin biex jivvaporizzaw materjali tal-kisi, bħal evaporazzjoni bit-tisħin tar-reżistenza, evaporazzjoni bir-raġġ tal-elettroni (E-beam), evaporazzjoni bit-tisħin tal-induzzjoni, u evaporazzjoni bl-ark. Sistemi ta' kisi bl-isputtering, min-naħa l-oħra, jiddependu fuq it-tfigħ tal-atomu fil-mira indott mill-plażma u jinkludu sputtering b'kurrent dirett (DC), sputtering bil-frekwenza tar-radju (RF), sputtering bil-manjetron, u proċessi ta' sputtering reattiv. Sistemi ta' kisi joniku jikkombinaw mekkaniżmi tal-plażma u tal-evaporazzjoni jew tal-isputtering biex itejbu l-adeżjoni u d-densità tal-film, b'teknoloġiji tipiċi li jinkludu kisi joniku bl-ark katodiku, kisi joniku bl-isputtering bil-manjetron, u kisi joniku bil-katodu vojt.

Sistemi ta' Depożizzjoni Kimika mill-Fwar (CVD) jinvolvu reazzjonijiet kimiċi ta' prekursuri gassużi biex jiffurmaw films irqaq solidi fuq uċuħ tas-sottostrat. Teknoloġiji CVD komuni jinkludu Depożizzjoni Kimika mill-Fwar bi Pressjoni Atmosferika (APCVD), Depożizzjoni Kimika mill-Fwar bi Pressjoni Baxxa (LPCVD), Depożizzjoni Kimika mill-Fwar bi Plażma Msaħħa (PECVD), Depożizzjoni Kimika mill-Fwar Metallo-Organika (MOCVD), u Depożizzjoni ta' Saff Atomiku (ALD), kull waħda adattata għal sistemi ta' materjali u rekwiżiti ta' proċess differenti.

It-teknoloġiji tal-kisi bil-vakwu huma applikati b'mod estensiv f'firxa wiesgħa ta' industriji, inklużi l-manifattura tal-karozzi, l-elettronika u l-elettronika għall-konsumatur (bħal smartphones), semikondutturi, apparat domestiku, oġġetti sanitarji, prodotti kimiċi ta' kuljum, komponenti dekorattivi, u materjali tal-film flessibbli.

-Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tat-tagħmir tal-kisi bil-vakwuVakwu Zhenhua