Teknoloji kouch vakyòm lan lajman rekonèt pou respè anviwònman li, efikasite li, ekselan inifòmite fim nan, ak dansite fim siperyè li. Nan aplikasyon endistriyèl yo, ekipman kouch vakyòm yo jeneralman klase an de kategori prensipal: Depozisyon Fizik Vapè (PVD) ak Depozisyon Chimik Vapè (CVD).
Sistèm Depozisyon Vapè Fizik (PVD) yo gen ladan yo teknoloji evaporasyon, pulverizasyon, ak plakaj iyon. Sistèm kouch evaporasyon yo itilize plizyè metòd chofaj pou vaporize materyèl kouch yo, tankou evaporasyon chofaj rezistans, evaporasyon gwo bout bwa elektwon (E-beam), evaporasyon chofaj endiksyon, ak evaporasyon ark. Sistèm kouch pulverizasyon, nan lòt men an, konte sou ejeksyon atòm sib pwovoke pa plasma epi yo gen ladan pulverizasyon kouran dirèk (DC), pulverizasyon frekans radyo (RF), pulverizasyon mayetron, ak pwosesis pulverizasyon reyaktif. Sistèm plakaj iyon yo konbine mekanis plasma ak evaporasyon oswa pulverizasyon pou amelyore adezyon ak dansite fim nan, ak teknoloji tipik ki gen ladan plakaj iyon ark katodik, plakaj iyon pulverizasyon mayetron, ak plakaj iyon katod kre.
Sistèm Depozisyon Vapè Chimik (CVD) yo enplike reyaksyon chimik prekisè gazez pou fòme fim mens solid sou sifas substrats yo. Teknoloji CVD komen yo enkli Depozisyon Vapè Chimik anba Presyon Atmosferik (APCVD), Depozisyon Vapè Chimik anba Presyon Ba (LPCVD), Depozisyon Vapè Chimik Amelyore pa Plasma (PECVD), Depozisyon Vapè Chimik Metal-Òganik (MOCVD), ak Depozisyon Kouch Atomik (ALD), chak adapte ak diferan sistèm materyèl ak egzijans pwosesis.
Teknoloji kouch vakyòm yo lajman aplike nan yon pakèt endistri, tankou fabrikasyon otomobil, elektwonik ak elektwonik konsomatè (tankou smartphones), semi-kondiktè, aparèy kay, ekipman sanitè, pwodui chimik chak jou, konpozan dekoratif, ak materyèl fim fleksib.
-Atik sa a te pibliye pamanifakti ekipman kouch vakyòmAspiratè Zhenhua
Dat piblikasyon: 2 avril 2026