Hutsean estaltzeko teknologiak ingurumenarekiko errespetuagatik, eraginkortasun handiagatik, filmaren uniformetasun bikainagatik eta filmaren dentsitate bikainagatik aitortua da. Industria-aplikazioetan, hutsean estaltzeko ekipoak bi kategoria nagusitan sailkatzen dira, oro har: Lurrun-deposizio fisikoa (PVD) eta Lurrun-deposizio kimikoa (CVD).
Lurruntze fisiko bidezko deposizio (PVD) sistemek lurrunketa, sputtering eta ioi bidezko plaka teknologiak barne hartzen dituzte. Lurruntze-estaldura sistemek hainbat berokuntza metodo erabiltzen dituzte estaldura-materialak lurruntzeko, hala nola erresistentzia berokuntza lurrunketa, elektroi-izpien lurrunketa (E-izpi), indukzio berokuntza lurrunketa eta arku lurrunketa. Sputtering estaldura sistemek, berriz, plasma bidezko atomoen kanporatzean oinarritzen dira eta korronte zuzeneko (DC) sputtering, irrati-maiztasuneko (RF) sputtering, magnetron sputtering eta sputtering erreaktiboaren prozesuak barne hartzen dituzte. Ioi bidezko plaka sistemek plasma eta lurrunketa edo sputtering mekanismoak konbinatzen dituzte filmaren atxikimendua eta dentsitatea hobetzeko, teknologia tipikoekin arku katodikoaren ioi plaka, magnetron sputtering ioi plaka eta katodo hutsaren ioi plaka barne hartzen dituzte.
Lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) sistemek aitzindari gaseosoen erreakzio kimikoak dakartzate substratuen gainazalean film mehe solidoak eratzeko. CVD teknologia ohikoenen artean daude Presio Atmosferikoko Lurrun-deposizio kimikoa (APCVD), Presio Baxuko Lurrun-deposizio kimikoa (LPCVD), Plasma bidezko Lurrun-deposizio kimiko hobetua (PECVD), Metal-Organikoko Lurrun-deposizio kimikoa (MOCVD) eta Geruza Atomikoen Deposizioa (ALD), bakoitza material-sistema eta prozesu-eskakizun desberdinetara egokituta.
Hutsean estaltzeko teknologiak industria sorta zabal batean aplikatzen dira, besteak beste, automobilgintzan, elektronikan eta kontsumo-elektronikan (adibidez, telefono adimendunetan), erdieroaleetan, etxetresna elektrikoetan, osasun-produktuetan, eguneroko produktu kimikoetan, osagai apaingarrietan eta film malguetan.
-Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko ekipoen fabrikatzaileaZhenhua xurgagailua
Argitaratze data: 2026ko apirilaren 2a