Tá teicneolaíocht sciath folúis aitheanta go forleathan as a cairdiúlacht don chomhshaol, a héifeachtúlacht ard, a haonfhoirmeacht scannáin den scoth, agus a dlús scannáin níos fearr. I bhfeidhmeanna tionsclaíocha, déantar trealamh sciath folúis a aicmiú i ndá phríomhchatagóir de ghnáth: Taisceadh Fisiceach Gaile (PVD) agus Taisceadh Ceimiceach Gaile (CVD).
Áirítear le córais Taiscthe Gaile Fisiciúil (PVD) teicneolaíochtaí galúcháin, spútarála, agus plátála ian. Úsáideann córais sciath galúcháin modhanna téimh éagsúla chun ábhair sciath a ghalú, amhail galú téimh friotaíochta, galú bhíoma leictreon (E-bhíoma), galú téimh ionduchtaithe, agus galú stua. Ar an láimh eile, braitheann córais sciath spútarála ar eisteacht adamh sprice spreagtha ag plasma agus áirítear leo spútaráil srutha dhírigh (DC), spútaráil minicíochta raidió (RF), spútaráil maighnéadrón, agus próisis spútarála imoibríocha. Comhcheanglaíonn córais plátála ian meicníochtaí plasma agus galúcháin nó spútarála chun greamaitheacht agus dlús scannáin a fheabhsú, agus lena n-áirítear teicneolaíochtaí tipiciúla plátáil ian stua catóideach, plátáil ian spútarála maighnéadrón, agus plátáil ian catóide log.
Baineann córais Taisceadh Gaile Ceimiceach (CVD) le himoibrithe ceimiceacha réamhtheachtaithe gásacha chun scannáin thanaí sholadacha a fhoirmiú ar dhromchlaí foshraithe. I measc na dteicneolaíochtaí CVD coitianta tá Taisceadh Gaile Ceimiceach faoi Bhrú Atmaisféarach (APCVD), Taisceadh Gaile Ceimiceach Ísealbhrú (LPCVD), Taisceadh Gaile Ceimiceach Feabhsaithe Plasma (PECVD), Taisceadh Gaile Ceimiceach Miotal-Orgánach (MOCVD), agus Taisceadh Sraithe Adamhach (ALD), agus gach ceann acu oiriúnach do chórais ábhartha agus do riachtanais phróisis éagsúla.
Cuirtear teicneolaíochtaí sciath folúis i bhfeidhm go forleathan ar fud raon leathan tionscal, lena n-áirítear déantúsaíocht feithicleach, leictreonaic agus leictreonaic tomhaltóra (amhail fóin chliste), leathsheoltóirí, fearais tí, earraí sláintíochta, táirgí ceimiceacha laethúla, comhpháirteanna maisiúla, agus ábhair scannán solúbtha.
-Foilsíodh an t-alt seo agmonaróir trealaimh sciath folúisFolúsghlantóir Zhenhua
Am an phoist: 02 Aibreán 2026