ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობის ტიპები

ვაკუუმური საფარის ტექნოლოგია ფართოდ არის აღიარებული თავისი გარემოსდაცვითი კეთილგანწყობით, მაღალი ეფექტურობით, შესანიშნავი ფენის ერთგვაროვნებით და უმაღლესი ფენის სიმკვრივით. სამრეწველო გამოყენებაში, ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობა ზოგადად კლასიფიცირდება ორ ძირითად კატეგორიად: ფიზიკური ორთქლის დეპონირება (PVD) და ქიმიური ორთქლის დეპონირება (CVD).

ფიზიკური ორთქლის დეპონირების (PVD) სისტემები მოიცავს აორთქლების, გაფრქვევის და იონური მოპირკეთების ტექნოლოგიებს. აორთქლების საფარის სისტემები საფარის მასალების აორთქლებისთვის იყენებენ გათბობის სხვადასხვა მეთოდს, როგორიცაა წინააღმდეგობის გაცხელებით აორთქლება, ელექტრონული სხივის აორთქლება (E-სხივი), ინდუქციური გაცხელებით აორთქლება და რკალური აორთქლება. მეორეს მხრივ, გაფრქვევით საფარის სისტემები ეყრდნობა პლაზმით ინდუცირებულ სამიზნე ატომის გამოტყორცნას და მოიცავს მუდმივი დენის (DC) გაფრქვევას, რადიოსიხშირულ (RF) გაფრქვევას, მაგნეტრონულ გაფრქვევას და რეაქტიული გაფრქვევის პროცესებს. იონური მოპირკეთების სისტემები აერთიანებს პლაზმას და აორთქლების ან გაფრქვევის მექანიზმებს ფირის ადჰეზიისა და სიმკვრივის გასაძლიერებლად, ტიპიური ტექნოლოგიებით, მათ შორის კათოდური რკალური იონური მოპირკეთება, მაგნეტრონული გაფრქვევით იონური მოპირკეთება და ღრუ კათოდური იონური მოპირკეთება.

ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) სისტემები მოიცავს აირისებრი პრეკურსორების ქიმიურ რეაქციებს, რომლებიც წარმოქმნიან მყარ თხელ აპკებს სუბსტრატის ზედაპირებზე. გავრცელებული CVD ტექნოლოგიები მოიცავს ატმოსფერული წნევის ქიმიურ ორთქლის დეპონირებას (APCVD), დაბალი წნევის ქიმიური ორთქლის დეპონირებას (LPCVD), პლაზმურად გაძლიერებულ ქიმიურ ორთქლის დეპონირებას (PECVD), მეტალ-ორგანული ქიმიური ორთქლის დეპონირებას (MOCVD) და ატომური ფენის დეპონირებას (ALD), რომელთაგან თითოეული შესაფერისია სხვადასხვა მასალის სისტემებისა და პროცესის მოთხოვნებისთვის.

ვაკუუმური საფარის ტექნოლოგიები ფართოდ გამოიყენება ინდუსტრიების ფართო სპექტრში, მათ შორის საავტომობილო წარმოებაში, ელექტრონიკასა და სამომხმარებლო ელექტრონიკაში (მაგალითად, სმარტფონებში), ნახევარგამტარებში, საყოფაცხოვრებო ტექნიკაში, სანტექნიკურ ნაწარმში, ყოველდღიური ქიმიურ პროდუქტებში, დეკორატიულ კომპონენტებსა და მოქნილ ფირის მასალებში.

- ეს სტატია გამოქვეყნდავაკუუმური საფარის აღჭურვილობის მწარმოებელიჟენჰუას ვაკუუმი