የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች ዓይነቶች

የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂ ለአካባቢ ተስማሚነት፣ ከፍተኛ ብቃት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የፊልም ወጥነት እና የላቀ የፊልም ጥግግት በሰፊው ይታወቃል። በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች፣ የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በአጠቃላይ በሁለት ዋና ዋና ምድቦች ይመደባሉ፡ ፊዚካል ትነት ዲፖዚሽን (PVD) እና ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD)።

የፊዚካል ትነት ዲፖዚሽን (PVD) ስርዓቶች ትነት፣ ስፐተርሊንግ እና የአዮን ፕላቲንግ ቴክኖሎጂዎችን ያካትታሉ። የትነት ሽፋን ስርዓቶች እንደ የመቋቋም ማሞቂያ ትነት፣ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት (ኢ-ቢም)፣ የኢንዱክሽን ማሞቂያ ትነት እና የአርክ ትነት ያሉ የሽፋን ቁሳቁሶችን ትነት ለማድረግ የተለያዩ የማሞቂያ ዘዴዎችን ይጠቀማሉ። በሌላ በኩል የስፐተርሊንግ ሽፋን ስርዓቶች በፕላዝማ በሚመጣው ኢላማ አቶም ማውጣት ላይ የተመሰረቱ ሲሆኑ ቀጥተኛ የአሁኑን (DC) ስፐተርሊንግ፣ የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ስፐተርሊንግ፣ ማግኔትሮን ስፐተርሊንግ እና ምላሽ ሰጪ የስፐተርሊንግ ሂደቶችን ያካትታሉ። የአዮን ፕላቲንግ ስርዓቶች የፊልም ማጣበቂያ እና ጥግግትን ለማሻሻል የፕላዝማ እና የትነት ወይም የስፐተርሊንግ ዘዴዎችን ያጣምራሉ፣ ከእነዚህም ውስጥ ካቶዲክ አርክ አዮን ፕላቲንግ፣ ማግኔትሮን ስፐተርሊንግ አዮን ፕላቲንግ እና ሆሎ ካቶድ አዮን ፕላቲንግ ይገኙበታል።

የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) ስርዓቶች የጋዝ ፕሪኩዌሮችን የኬሚካል ግብረመልሶችን በንጥረ ነገሮች ወለል ላይ ጠንካራ ቀጭን ፊልሞችን ለመፍጠር ያካትታሉ። የተለመዱ የCVD ቴክኖሎጂዎች የከባቢ አየር ግፊት ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (APCVD)፣ ዝቅተኛ ግፊት ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (LPCVD)፣ የፕላዝማ የተሻሻለ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (PECVD)፣ የብረታ ብረት-ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (MOCVD) እና የአቶሚክ ንብርብር ዲፖዚሽን (ALD) ያካትታሉ፣ እያንዳንዳቸው ለተለያዩ የቁሳቁስ ስርዓቶች እና የሂደት መስፈርቶች ተስማሚ ናቸው።

የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂዎች በተለያዩ ኢንዱስትሪዎች ውስጥ በስፋት ይተገበራሉ፤ ከእነዚህም ውስጥ የመኪና ማምረቻ፣ የኤሌክትሮኒክስ እና የሸማቾች ኤሌክትሮኒክስ (እንደ ስማርት ስልኮች)፣ ሴሚኮንዳክተሮች፣ የቤት ውስጥ መገልገያዎች፣ የንፅህና መጠበቂያ ዕቃዎች፣ የዕለት ተዕለት የኬሚካል ምርቶች፣ የጌጣጌጥ ክፍሎች እና ተለዋዋጭ የፊልም ቁሳቁሶች ይገኙበታል።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሣሪያዎች አምራችዜንሁዋ ቫክዩም