Công nghệ phủ chân không được biết đến rộng rãi nhờ tính thân thiện với môi trường, hiệu quả cao, độ đồng nhất màng tuyệt vời và mật độ màng vượt trội. Trong các ứng dụng công nghiệp, thiết bị phủ chân không thường được phân loại thành hai loại chính: Phương pháp lắng đọng hơi vật lý (PVD) và Phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD).
Các hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD) bao gồm các công nghệ bay hơi, phun xạ và mạ ion. Hệ thống phủ bay hơi sử dụng nhiều phương pháp gia nhiệt khác nhau để làm bay hơi vật liệu phủ, chẳng hạn như bay hơi bằng điện trở, bay hơi bằng chùm tia điện tử (E-beam), bay hơi bằng gia nhiệt cảm ứng và bay hơi bằng hồ quang. Mặt khác, hệ thống phủ phun xạ dựa vào sự phóng ra các nguyên tử mục tiêu do plasma gây ra và bao gồm các quy trình phun xạ dòng điện một chiều (DC), phun xạ tần số vô tuyến (RF), phun xạ magnetron và phun xạ phản ứng. Hệ thống mạ ion kết hợp cơ chế plasma và bay hơi hoặc phun xạ để tăng cường độ bám dính và mật độ màng, với các công nghệ điển hình bao gồm mạ ion hồ quang catốt, mạ ion phun xạ magnetron và mạ ion catốt rỗng.
Hệ thống lắng đọng hơi hóa học (CVD) bao gồm các phản ứng hóa học của các tiền chất dạng khí để tạo thành các màng mỏng rắn trên bề mặt chất nền. Các công nghệ CVD phổ biến bao gồm lắng đọng hơi hóa học ở áp suất khí quyển (APCVD), lắng đọng hơi hóa học ở áp suất thấp (LPCVD), lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), lắng đọng hơi hóa học kim loại hữu cơ (MOCVD) và lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), mỗi công nghệ phù hợp với các hệ vật liệu và yêu cầu quy trình khác nhau.
Công nghệ phủ chân không được ứng dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp, bao gồm sản xuất ô tô, điện tử và điện tử tiêu dùng (như điện thoại thông minh), chất bán dẫn, thiết bị gia dụng, thiết bị vệ sinh, sản phẩm hóa chất hàng ngày, linh kiện trang trí và vật liệu màng dẻo.
-Bài viết này được xuất bản bởinhà sản xuất thiết bị phủ chân khôngMáy hút bụi Zhenhua
Thời gian đăng bài: 02/04/2026