വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ തരങ്ങൾ

പരിസ്ഥിതി സൗഹൃദം, ഉയർന്ന കാര്യക്ഷമത, മികച്ച ഫിലിം യൂണിഫോമിറ്റി, മികച്ച ഫിലിം സാന്ദ്രത എന്നിവയ്ക്ക് വാക്വം കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ വ്യാപകമായി അംഗീകരിക്കപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിൽ, വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളെ സാധാരണയായി രണ്ട് പ്രധാന വിഭാഗങ്ങളായി തിരിച്ചിരിക്കുന്നു: ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (പിവിഡി), കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (സിവിഡി).

ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PVD) സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ബാഷ്പീകരണം, സ്പട്ടറിംഗ്, അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ കോട്ടിംഗ് വസ്തുക്കളെ ബാഷ്പീകരിക്കാൻ വിവിധ ചൂടാക്കൽ രീതികൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഉദാഹരണത്തിന് റെസിസ്റ്റൻസ് ഹീറ്റിംഗ് ബാഷ്പീകരണം, ഇലക്ട്രോൺ ബീം ബാഷ്പീകരണം (E-ബീം), ഇൻഡക്ഷൻ ഹീറ്റിംഗ് ബാഷ്പീകരണം, ആർക്ക് ബാഷ്പീകരണം. മറുവശത്ത്, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ പ്ലാസ്മ-ഇൻഡ്യൂസ്ഡ് ടാർഗെറ്റ് ആറ്റം എജക്ഷനെ ആശ്രയിക്കുകയും ഡയറക്ട് കറന്റ് (DC) സ്പട്ടറിംഗ്, റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി (RF) സ്പട്ടറിംഗ്, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്, റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയകൾ എന്നിവ ഉൾക്കൊള്ളുകയും ചെയ്യുന്നു. കാഥോഡിക് ആർക്ക് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്, ഹോളോ കാഥോഡ് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള സാധാരണ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ ഉപയോഗിച്ച്, ഫിലിം അഡീഷനും സാന്ദ്രതയും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ പ്ലാസ്മയും ബാഷ്പീകരണമോ സ്പട്ടറിംഗ് സംവിധാനങ്ങളോ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു.

കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (CVD) സിസ്റ്റങ്ങളിൽ വാതക പ്രീകേഴ്സുകളുടെ രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾ ഉൾപ്പെടുന്നു, ഇത് അടിവസ്ത്ര പ്രതലങ്ങളിൽ ഖര നേർത്ത ഫിലിമുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നു. സാധാരണ CVD സാങ്കേതികവിദ്യകളിൽ അന്തരീക്ഷ മർദ്ദം കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (APCVD), ലോ പ്രഷർ കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (LPCVD), പ്ലാസ്മ എൻഹാൻസ്ഡ് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (PECVD), ലോഹ-ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (MOCVD), ആറ്റോമിക് ലെയർ ഡിപ്പോസിഷൻ (ALD) എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു, ഓരോന്നും വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയൽ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കും പ്രക്രിയ ആവശ്യകതകൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്.

ഓട്ടോമോട്ടീവ് നിർമ്മാണം, ഇലക്ട്രോണിക്സ്, കൺസ്യൂമർ ഇലക്ട്രോണിക്സ് (സ്മാർട്ട്ഫോണുകൾ പോലുള്ളവ), സെമികണ്ടക്ടറുകൾ, വീട്ടുപകരണങ്ങൾ, സാനിറ്ററി വെയർ, ദൈനംദിന രാസ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ, അലങ്കാര ഘടകങ്ങൾ, ഫ്ലെക്സിബിൾ ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിൽ വാക്വം കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വ്യാപകമായി പ്രയോഗിക്കുന്നു.

-ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണ നിർമ്മാതാവ്ഷെൻഹുവ വാക്വം