Тэхналогія вакуумнага пакрыцця шырока прызнана сваёй экалагічнасцю, высокай эфектыўнасцю, выдатнай аднастайнасцю плёнкі і высокай шчыльнасцю плёнкі. У прамысловым ужыванні абсталяванне для вакуумнага пакрыцця звычайна класіфікуецца на дзве асноўныя катэгорыі: фізічнае асаджэнне з паравой фазы (PVD) і хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD).
Сістэмы фізічнага асаджэння з паравой фазы (PVD) уключаюць тэхналогіі выпарэння, распылення і іённага пакрыцця. Сістэмы выпарвання выкарыстоўваюць розныя метады нагрэву для выпарэння пакрывальных матэрыялаў, такія як рэзістыўнае награванне, электронна-прамянёвае выпарэнне (E-beam), індукцыйнае награванне і дугавое выпарэнне. Сістэмы распылення, з іншага боку, абапіраюцца на плазменна-індукаваны выкід атамаў мішэні і ўключаюць распыленне пастаянным токам (DC), радыёчастотнае (RF) распыленне, магнетроннае распыленне і рэактыўнае распыленне. Сістэмы іённага пакрыцця спалучаюць плазму і механізмы выпарэння або распылення для паляпшэння адгезіі і шчыльнасці плёнкі, прычым тыповыя тэхналогіі ўключаюць катодна-дугавое іённае пакрыццё, магнетроннае распыленне і іённае пакрыццё з полым катодам.
Сістэмы хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) уключаюць хімічныя рэакцыі газападобных папярэднікаў для ўтварэння цвёрдых тонкіх плёнак на паверхнях падкладак. Распаўсюджаныя тэхналогіі CVD ўключаюць хімічнае асаджэнне з паравой фазы пры атмасферным ціску (APCVD), хімічнае асаджэнне з паравой фазы пры нізкім ціску (LPCVD), хімічнае асаджэнне з паравой фазы з плазменным узмацненнем (PECVD), металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы (MOCVD) і атамна-слаёвае асаджэнне (ALD), кожная з якіх падыходзіць для розных матэрыяльных сістэм і патрабаванняў працэсу.
Тэхналогіі вакуумнага пакрыцця шырока ўжываюцца ў шырокім спектры галін прамысловасці, у тым ліку ў аўтамабільнай вытворчасці, электроніцы і бытавой электроніцы (напрыклад, смартфонах), паўправадніках, бытавой тэхніцы, сантэхніцы, штодзённых хімічных прадуктах, дэкаратыўных кампанентах і гнуткіх плёнкавых матэрыялах.
-Гэты артыкул быў апублікаванывытворца абсталявання для вакуумнага нанясення пакрыццяўВакуумная кампанія Чжэньхуа
Час публікацыі: 02 красавіка 2026 г.