Вакуумдук каптоо технологиясы айлана-чөйрөгө зыянсыздыгы, жогорку натыйжалуулугу, пленканын бир түрдүүлүгүнүн мыктылыгы жана пленканын жогорку тыгыздыгы менен кеңири таанылган. Өнөр жайлык колдонмолордо вакуумдук каптоо жабдуулары жалпысынан эки негизги категорияга бөлүнөт: Физикалык буу чөктүрүү (PVD) жана Химиялык буу чөктүрүү (CVD).
Физикалык буу чөктүрүү (ФБЧ) системаларына буулануу, чачыратуу жана ион менен каптоо технологиялар кирет. Буулануу менен каптоо системалары каптоо материалдарын бууландыруу үчүн ар кандай ысытуу ыкмаларын колдонот, мисалы, каршылык менен ысытуу менен буулануу, электрондук нур менен буулануу (E-нур), индукциялык ысытуу менен буулануу жана жаа менен буулануу. Ал эми чачыратуу менен каптоо системалары плазма менен индукцияланган максаттуу атомдун чыгарылышына таянат жана түз ток (ТК) менен чачыратуу, радио жыштык (РЖ) менен чачыратуу, магнетрон менен чачыратуу жана реактивдүү чачыратуу процесстерин камтыйт. Ион менен каптоо системалары пленканын адгезиясын жана тыгыздыгын жогорулатуу үчүн плазма жана буулануу же чачыратуу механизмдерин айкалыштырат, ал эми типтүү технологиялар катоддук жаа менен ион менен каптоо, магнетрон менен чачыратуу менен ион менен каптоо жана көңдөй катод менен ион менен каптоону камтыйт.
Химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) системалары газ түрүндөгү прекурсорлордун химиялык реакцияларын камтыйт жана субстраттын беттеринде катуу жука пленкаларды пайда кылат. Кеңири таралган ХБЧ технологияларына атмосфералык басымдагы химиялык буу чөктүрүү (APCVD), төмөнкү басымдагы химиялык буу чөктүрүү (LPCVD), плазмадагы күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүү (PECVD), металл-органикалык химиялык буу чөктүрүү (MOCVD) жана атомдук катмар чөктүрүү (ALD) кирет, алардын ар бири ар кандай материалдык системаларга жана процесстердин талаптарына ылайыктуу.
Вакуумдук каптоо технологиялары автомобиль өндүрүшү, электроника жана керектөөчү электроника (мисалы, смартфондор), жарым өткөргүчтөр, тиричилик техникалары, санитардык-техникалык каражаттар, күнүмдүк химиялык продуктылар, декоративдик компоненттер жана ийкемдүү пленка материалдары сыяктуу көптөгөн тармактарда кеңири колдонулат.
- Бул макаланы жарыялаганвакуумдук каптоо жабдууларын өндүрүүчүЧжэньхуа чаң соргуч
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 2-апрели