Tehnologija vakuumskog premazivanja je široko priznata zbog svoje ekološke prihvatljivosti, visoke efikasnosti, odlične ujednačenosti filma i superiorne gustoće filma. U industrijskim primjenama, oprema za vakuumsko premazivanje se uglavnom klasifikuje u dvije glavne kategorije: fizičko taloženje iz parne faze (PVD) i hemijsko taloženje iz parne faze (CVD).
Sistemi fizičkog nanošenja pare (PVD) uključuju tehnologije isparavanja, raspršivanja i jonskog prevlačenja. Sistemi isparavanja koriste različite metode zagrijavanja za isparavanje materijala za prevlačenje, kao što su isparavanje otpornim zagrijavanjem, isparavanje elektronskim snopom (E-snop), indukcijsko zagrijavanje i elektrolučno isparavanje. S druge strane, sistemi raspršivanja oslanjaju se na izbacivanje atoma mete inducirano plazmom i uključuju raspršivanje jednosmjernom strujom (DC), radiofrekventno (RF) raspršivanje, magnetronsko raspršivanje i reaktivno raspršivanje. Sistemi jonskog prevlačenja kombinuju mehanizme plazme i isparavanja ili raspršivanja kako bi poboljšali prianjanje i gustoću filma, a tipične tehnologije uključuju katodno lučno jonsko prevlačenje, magnetronsko raspršivanje i jonsko prevlačenje šupljom katodom.
Sistemi hemijskog izbacivanja iz parne faze (CVD) uključuju hemijske reakcije gasovitih prekursora koji formiraju tanke čvrste filmove na površinama supstrata. Uobičajene CVD tehnologije uključuju hemijsko izbacivanje iz parne faze pri atmosferskom pritisku (APCVD), hemijsko izbacivanje iz parne faze niskog pritiska (LPCVD), hemijsko izbacivanje iz parne faze pojačano plazmom (PECVD), metal-organsko hemijsko izbacivanje iz parne faze (MOCVD) i atomsko slojevito izbacivanje (ALD), a svaka je prilagođena različitim materijalnim sistemima i zahtjevima procesa.
Tehnologije vakuumskog premazivanja se široko primjenjuju u širokom spektru industrija, uključujući automobilsku proizvodnju, elektroniku i potrošačku elektroniku (kao što su pametni telefoni), poluprovodnike, kućanske aparate, sanitarnu opremu, svakodnevne hemijske proizvode, dekorativne komponente i fleksibilne filmske materijale.
-Ovaj članak je objavio/laproizvođač opreme za vakuumsko premazivanjeZhenhua Vakuum
Vrijeme objave: 02.04.2026.