ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆಗಳ ವಿಧಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಅದರ ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಪರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಫಿಲ್ಮ್ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಫಿಲ್ಮ್ ಸಾಂದ್ರತೆಗಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಗುರುತಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎರಡು ಮುಖ್ಯ ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ: ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD).

ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು ಸೇರಿವೆ. ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಲೇಪನ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆವಿಯಾಗಿಸಲು ವಿವಿಧ ತಾಪನ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ (E-ಬೀಮ್), ಇಂಡಕ್ಷನ್ ತಾಪನ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಕ್ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ. ಮತ್ತೊಂದೆಡೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ-ಪ್ರೇರಿತ ಗುರಿ ಪರಮಾಣು ಎಜೆಕ್ಷನ್ ಅನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ ಮತ್ತು ನೇರ ಪ್ರವಾಹ (DC) ಸ್ಪಟರಿಂಗ್, ರೇಡಿಯೋ ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ (RF) ಸ್ಪಟರಿಂಗ್, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ. ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಮತ್ತು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಅಥವಾ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಕಾರ್ಯವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತವೆ, ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಟೊಳ್ಳಾದ ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿಶಿಷ್ಟ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳೊಂದಿಗೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ತಲಾಧಾರ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಲ್ಲಿ ಘನ ತೆಳುವಾದ ಪದರಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ CVD ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಲ್ಲಿ ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (APCVD), ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (LPCVD), ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PECVD), ಲೋಹ-ಸಾವಯವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (MOCVD), ಮತ್ತು ಪರಮಾಣು ಪದರ ಶೇಖರಣೆ (ALD), ಪ್ರತಿಯೊಂದೂ ವಿಭಿನ್ನ ವಸ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ.

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ವಾಹನ ತಯಾರಿಕೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಗ್ರಾಹಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ (ಸ್ಮಾರ್ಟ್‌ಫೋನ್‌ಗಳಂತಹವು), ಅರೆವಾಹಕಗಳು, ಗೃಹೋಪಯೋಗಿ ವಸ್ತುಗಳು, ನೈರ್ಮಲ್ಯ ಸಾಮಾನುಗಳು, ದೈನಂದಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು, ಅಲಂಕಾರಿಕ ಘಟಕಗಳು ಮತ್ತು ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ವಸ್ತುಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

- ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ ತಯಾರಕಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್