Вакуум бүрэх технологи нь байгаль орчинд ээлтэй, өндөр үр ашигтай, маш сайн хальсны жигд байдал, дээд зэргийн хальсны нягтралаараа өргөнөөр хүлээн зөвшөөрөгдсөн. Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд вакуум бүрэх төхөөрөмжийг ерөнхийдөө хоёр үндсэн ангилалд ангилдаг: Физик уурын тунадасжилт (PVD) болон Химийн уурын тунадасжилт (CVD).
Физик ууршуулах (PVD) системд ууршилт, цацалт болон ион бүрэх технологиуд багтдаг. Ууршилтын бүрэх систем нь бүрэх материалыг ууршуулахын тулд эсэргүүцлийн халаалтын ууршилт, электрон цацрагийн ууршилт (E-цацраг), индукцийн халаалтын ууршилт, нуман ууршилт зэрэг янз бүрийн халаалтын аргыг ашигладаг. Нөгөөтэйгүүр, цацалттай бүрэх систем нь плазмаас үүдэлтэй бай атомын цацалт дээр суурилдаг бөгөөд шууд гүйдэл (DC) цацалт, радио давтамжийн (RF) цацалт, магнетроны цацалт болон реактив цацалтын процессуудыг агуулдаг. Ионы бүрэх систем нь хальсны наалдац болон нягтралыг нэмэгдүүлэхийн тулд плазм болон ууршилт эсвэл цацалтын механизмыг хослуулдаг бөгөөд катодын нуман ион бүрэх, магнетроны цацалттай ион бүрэх, хөндий катодын ион бүрэх зэрэг ердийн технологиудтай.
Химийн уурын хуримтлал (ХУТ) системүүд нь хийн прекурсоруудын химийн урвалыг ашиглан субстратын гадаргуу дээр хатуу нимгэн хальс үүсгэдэг. Нийтлэг ХУТ технологид Агаар мандлын даралтын химийн уурын хуримтлал (APCVD), Бага даралтын химийн уурын хуримтлал (LPCVD), Плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал (PECVD), Металл-органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD), Атомын давхаргын хуримтлал (ALD) зэрэг орно. Эдгээр нь тус бүр нь өөр өөр материалын систем болон процессын шаардлагад тохирсон байдаг.
Вакуум бүрэх технологиудыг автомашины үйлдвэрлэл, электроник болон хэрэглээний электроник (ухаалаг утас гэх мэт), хагас дамжуулагч, гэр ахуйн цахилгаан хэрэгсэл, ариун цэврийн хэрэглэл, өдөр тутмын химийн бүтээгдэхүүн, гоёл чимэглэлийн эд анги, уян хатан хальсан материал зэрэг олон салбарт өргөнөөр ашигладаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчЖэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 4-р сарын 2