வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்களின் வகைகள்

வெற்றிடப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம் அதன் சுற்றுச்சூழல் நேசம், உயர் செயல்திறன், சிறந்த பூச்சுச் சீர்மை மற்றும் உயர்ந்த பூச்சு அடர்த்தி ஆகியவற்றிற்காகப் பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது. தொழில்துறைப் பயன்பாடுகளில், வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்கள் பொதுவாக இரண்டு முக்கிய வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன: இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD) மற்றும் வேதியியல் ஆவிப் படிவு (CVD).

இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD) அமைப்புகளில் ஆவியாதல், சிதறடித்தல் மற்றும் அயனி முலாம் பூசுதல் தொழில்நுட்பங்கள் அடங்கும். ஆவியாதல் பூச்சு அமைப்புகள், பூச்சுப் பொருட்களை ஆவியாக்குவதற்காக மின்தடை வெப்ப ஆவியாதல், எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் (E-கற்றை), தூண்டல் வெப்ப ஆவியாதல் மற்றும் வில் ஆவியாதல் போன்ற பல்வேறு வெப்பமூட்டும் முறைகளைப் பயன்படுத்துகின்றன. மறுபுறம், சிதறடித்தல் பூச்சு அமைப்புகள், பிளாஸ்மாவால் தூண்டப்பட்ட இலக்கு அணு வெளியேற்றத்தைச் சார்ந்துள்ளன; மேலும் அவை நேர் மின்னோட்ட (DC) சிதறடித்தல், ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) சிதறடித்தல், காந்த அலை சிதறடித்தல் மற்றும் வினைத்திறன் சிதறடித்தல் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியுள்ளன. அயனி முலாம் பூசுதல் அமைப்புகள், படலத்தின் ஒட்டுதலையும் அடர்த்தியையும் மேம்படுத்துவதற்காக பிளாஸ்மா மற்றும் ஆவியாதல் அல்லது சிதறடித்தல் வழிமுறைகளை ஒருங்கிணைக்கின்றன; இதன் பொதுவான தொழில்நுட்பங்களில் எதிர்மின் வில் அயனி முலாம் பூசுதல், காந்த அலை சிதறடித்தல் அயனி முலாம் பூசுதல் மற்றும் உள்ளீடற்ற எதிர்மின் அயனி முலாம் பூசுதல் ஆகியவை அடங்கும்.

இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) அமைப்புகள், அடி மூலக்கூறு பரப்புகளில் திடமான மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குவதற்காக, வாயு முன்னோடிப் பொருட்களின் இரசாயன வினைகளை உள்ளடக்கியுள்ளன. பொதுவான CVD தொழில்நுட்பங்களில் வளிமண்டல அழுத்த இரசாயன ஆவிப் படிவு (APCVD), குறைந்த அழுத்த இரசாயன ஆவிப் படிவு (LPCVD), பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன ஆவிப் படிவு (PECVD), உலோக-கரிம இரசாயன ஆவிப் படிவு (MOCVD) மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) ஆகியவை அடங்கும்; இவை ஒவ்வொன்றும் வெவ்வேறு பொருள் அமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறைத் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு அமைந்துள்ளன.

வெற்றிடப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்கள், வாகன உற்பத்தி, மின்னணுவியல் மற்றும் நுகர்வோர் மின்னணு சாதனங்கள் (ஸ்மார்ட்போன்கள் போன்றவை), குறைக்கடத்திகள், வீட்டு உபயோகப் பொருட்கள், சுகாதாரப் பொருட்கள், அன்றாட இரசாயனப் பொருட்கள், அலங்காரக் கூறுகள் மற்றும் நெகிழ்வான படலப் பொருட்கள் உள்ளிட்ட பலதரப்பட்ட தொழில்துறைகளில் விரிவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்