Vakuuminio dengimo technologija plačiai pripažįstama dėl savo ekologiškumo, didelio efektyvumo, puikaus plėvelės vienodumo ir didesnio plėvelės tankio. Pramoninėse srityse vakuuminio dengimo įranga paprastai skirstoma į dvi pagrindines kategorijas: fizikinį garų nusodinimą (PVD) ir cheminį garų nusodinimą (CVD).
Fizikinio garinimo nusodinimo (PVD) sistemos apima garinimo, dulkių dulkinimo ir joninio dengimo technologijas. Garinimo dengimo sistemos naudoja įvairius kaitinimo metodus dengimo medžiagoms garinti, tokius kaip varžinis kaitinimo garinimas, elektronų pluošto garinimas (E pluoštas), indukcinis kaitinimo garinimas ir lanko garinimas. Kita vertus, dulkių dulkinimo sistemos remiasi plazmos sukeltu taikinio atomo išstūmimu ir apima nuolatinės srovės (DC) dulkių dulkinimą, radijo dažnio (RF) dulkių dulkinimą, magnetroninį dulkių dulkinimą ir reaktyvųjį dulkių dulkinimą. Jonų dengimo sistemos sujungia plazmos ir garinimo arba dulkių dulkinimo mechanizmus, kad pagerintų plėvelės sukibimą ir tankį, o tipinės technologijos apima katodinį lanko joninį dengimą, magnetroninį dulkių joninį dengimą ir tuščiavidurio katodo joninį dengimą.
Cheminio garinio nusodinimo (CVD) sistemos apima dujinių pirmtakų chemines reakcijas, kurių metu ant substrato paviršiaus susidaro kietos plonos plėvelės. Įprastos CVD technologijos apima atmosferos slėgio cheminį garinį nusodinimą (APCVD), žemo slėgio cheminį garinį nusodinimą (LPCVD), plazmoje sustiprintą cheminį garinį nusodinimą (PECVD), metalų-organinių cheminių garų nusodinimą (MOCVD) ir atominio sluoksnio nusodinimą (ALD), kurių kiekviena tinka skirtingoms medžiagų sistemoms ir procesų reikalavimams.
Vakuuminio dengimo technologijos plačiai taikomos įvairiose pramonės šakose, įskaitant automobilių gamybą, elektroniką ir plataus vartojimo elektroniką (pvz., išmaniuosius telefonus), puslaidininkius, buitinę techniką, santechnikos gaminius, kasdienius chemijos produktus, dekoratyvinius komponentus ir lanksčias plėveles.
– Šį straipsnį paskelbėvakuuminio dengimo įrangos gamintojasZhenhua dulkių siurblys
Įrašo laikas: 2026 m. balandžio 2 d.