La tecnologia de recobriment al buit és àmpliament reconeguda pel seu respecte pel medi ambient, alta eficiència, excel·lent uniformitat de la pel·lícula i densitat de la pel·lícula superior. En aplicacions industrials, els equips de recobriment al buit es classifiquen generalment en dues categories principals: Deposició física de vapor (PVD) i Deposició química de vapor (CVD).
Els sistemes de deposició física de vapor (PVD) inclouen tecnologies d'evaporació, pulverització catòdica i recobriment iònic. Els sistemes de recobriment per evaporació utilitzen diversos mètodes d'escalfament per vaporitzar materials de recobriment, com ara l'evaporació per escalfament per resistència, l'evaporació per feix d'electrons (feix E), l'evaporació per escalfament per inducció i l'evaporació per arc. Els sistemes de recobriment per pulverització catòdica, en canvi, es basen en l'ejecció d'àtoms objectiu induïda per plasma i inclouen processos de pulverització catòdica de corrent continu (CC), pulverització catòdica de radiofreqüència (RF), pulverització catòdica de magnetró i pulverització catòdica reactiva. Els sistemes de recobriment iònic combinen mecanismes de plasma i evaporació o pulverització catòdica per millorar l'adhesió i la densitat de la pel·lícula, amb tecnologies típiques que inclouen el recobriment iònic d'arc catòdic, el recobriment iònic per pulverització catòdica de magnetró i el recobriment iònic de càtode buit.
Els sistemes de deposició química de vapor (CVD) impliquen reaccions químiques de precursors gasosos per formar pel·lícules primes sòlides sobre les superfícies del substrat. Les tecnologies CVD comunes inclouen la deposició química de vapor a pressió atmosfèrica (APCVD), la deposició química de vapor a baixa pressió (LPCVD), la deposició química de vapor millorada per plasma (PECVD), la deposició química de vapor metall-orgànic (MOCVD) i la deposició de capes atòmiques (ALD), cadascuna adequada a diferents sistemes de materials i requisits de procés.
Les tecnologies de recobriment al buit s'apliquen àmpliament en una àmplia gamma d'indústries, com ara la fabricació d'automòbils, l'electrònica i l'electrònica de consum (com ara els telèfons intel·ligents), els semiconductors, els electrodomèstics, els articles sanitaris, els productes químics d'ús diari, els components decoratius i els materials de pel·lícula flexible.
-Aquest article ha estat publicat perfabricant d'equips de recobriment al buitAspiradora Zhenhua
Data de publicació: 02-04-2026