Içi boş katod ion örtüginiň prosesi

Içi boş katod ion örtüginiň prosesi aşakdaky ýaly:

1, Çökdürilen ýere çene külçelerini goýuň.

2, Iş bölegini oturtmak.

3, 5×10-3Pa-a çenli sowulandan soň, kümüş turbadan argon gazy örtük kamerasyna girizilýär we wakuum derejesi takmynan 100Pa bolýar.

4, Gaty täsirli güýji açyň.

5, Içi boş katod boşalmasyny ýakmak üçin ýaý güýjüni açandan soň. Düwme turbasynda ýalpyldawuk boşalma emele gelýär, boşalma naprýaženiýesi 800 ~ 1000V, ýaý göteriji tok 30 ~ 50A. Ýalpyldawuk boşalmasynyň boş katod täsiri sebäpli, ýokary ýalpyldawuk boşalma tok dykyzlygy, kümüş turbadaky siýon ionlarynyň ýokary dykyzlygy gözegçilik turbasynyň diwaryny bombalaýar, turbanyň diwarynyň elektron akymynyň çykarylmagyna çalt gyzmagyna sebäp bolýar, boşalma režimi ýaý boşalmasyna birden üýtgeýär, naprýaženiýe 40 ~ 70V, tok 80 ~ 300A. Kümüş turbanyň temperaturasy 2300K-dan ýokary ýetýär, közlenýär, turbadan ýokary dykyzlykdaky ýaý elektronlaryny çykarýar we anoda atylýar.

6, Wakuum derejesini sazlamak. Içi boş katodly tüpeňden çykýan ýalpyldawuklyk üçin wakuum derejesi takmynan 100 Pa, örtügiň wakuum derejesi bolsa 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Şonuň üçin, ýaýly boşalma ot alandan soň, gelýän argon gazyny mümkin boldugyça çalt azaldyň, wakuum derejesini örtük üçin amatly aralyga sazlaň.

7, Titan örtülen esasy gatlak. Anodik çöken Çin metal külçesine elektron akymy, Kinetiki energiýanyň ýylylyk energiýasyna öwrülmegi, Çin metalynyň gyzdyrylyp bugarmagy, Bug atomlary iş bölegine ýetip, titan plýonkasyny emele getirýär.

8, TiN çökündisi. Azot gazy örtük kamerasyna berilýär, azot gazy we buharlanan atomlar azot we titan ionlaryna ionlaşdyrylýar. Tikelden ýokarda, titan bug atomlarynyň pes energiýaly elektronlaryň dykyz akymlary bilen elastik däl çaknyşmagynyň ähtimallygy ýokary, metalyň dissosiasiýa tizligi 20% ~ 40% çenli ýokary., titan ionlarynyň reaksiýa gaz azoty bilen himiki reaksiýa girmegi has ähtimal, nitrid mantiýa plýonka gatlagyny almak üçin çökündi. boş katod topy hem buharlanma çeşmesidir, ionlaşmanyň başga bir çeşmesi. örtük wagtynda, tikelden daşyndaky elektromagnit spiralyň akymy hem sazlanmaly, elektron şöhlesini çökmegiň merkezine gönükdirmeli, şeýlelik bilen, elektron akymynyň güýç dykyzlygy ýokarlanýar.

9, Elektrik öçüriň. Plýonkanyň galyňlygy öňünden bellenen plýonkanyň galyňlygyna ýetenden soň, ýaý elektrik üpjünçiligini, gyşarnyk elektrik üpjünçiligini we howa üpjünçiligini öçüriň.