Dobu katoda jonu pārklāšanas process

Dobu katoda jonu pārklāšanas process ir šāds:

1. Ievietojiet zoda lietņus sabrukšanas vietā.

2, sagataves uzstādīšana.

3、Pēc evakuācijas līdz 5 × 10-3Pa pārklājuma kamerā no sudraba caurules tiek ievadīta argona gāze, un vakuuma līmenis ir aptuveni 100 Pa.

4. Ieslēdziet slīpo jaudu.

5. Pēc loka strāvas ieslēgšanas, lai aizdedzinātu dobā katoda izlādi. Kvēlizlāde tiek ģenerēta pogas caurulē, izlādes spriegums ir 800–1000 V, loka pacelšanas strāva ir 30–50 A. Sakarā ar dobu katoda efektu. izlāde, augsts kvēlizlādes strāvas blīvums, augstais žurku jonu blīvums sudraba caurulē bombardē skatu caurules sienu, liek caurules sieniņai ātri sasilt līdz elektronu plūsmas emisijai, izlādes režīms no kvēlizlādes pēkšņas izmaiņas loka izlāde, Spriegums ir 40 ~ 70 V, Strāva ir 80 ~ 300 A. Sudraba caurules temperatūra sasniedz virs 2300 K, Kvēlspuldze, Izstaro augsta blīvuma loka elektronu plūsmu no caurules un izšauj uz anodu.

6. Vakuuma līmeņa pielāgošana. Vakuuma līmenis kvēlizlādei no doba katoda pistoles ir aptuveni 100 Pa, un pārklājuma vakuuma pakāpe ir 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Tāpēc pēc loka izlādes aizdegšanās samaziniet ienākošo argonu. pēc iespējas ātrāk noregulējiet vakuuma līmeni līdz diapazonam, kas piemērots pārklājumam.

7, titāna pārklājuma pamatslānis. Elektronu plūsma uz anodiski sabrukušā Chin metāla stieņa, kinētiskās enerģijas pārvēršana siltumenerģijā, zoda metāla iztvaikošana karsējot, tvaika atomi sasniedz sagatavi, veidojot titāna plēvi.

8. TiN nogulsnēšanās. Pārklājuma kamerā tiek piegādāta slāpekļa gāze, slāpekļa gāze un iztvaicētie atomi tiek jonizēti slāpekļa un titāna jonos. Virs tīģeļa, lielāka titāna tvaiku atomu neelastīgas sadursmes iespējamība ar blīvām zemas enerģijas elektronu plūsmām. Metāla disociācijas ātrums ir pat 20% ~ 40%., Titāna joni, visticamāk, reaģēs ķīmiski ar reakcijas gāzes slāpekli, nogulsnēšanās, lai iegūtu nitrīda apvalka plēves slāni. Dobu katoda lielgabals ir gan iztvaikošanas avots, gan cits avots. jonizācijas.Pārklāšanas laikā,Jānoregulē arī elektromagnētiskās spoles strāva ap tīģeli,Fokusējiet elektronu staru uz sabrukuma centru,Tādējādi tiek palielināts elektronu plūsmas jaudas blīvums.

9 、Izslēgts. Kad plēves biezums sasniedz iepriekš noteiktu plēves biezumu, izslēdziet loka strāvas padevi、Bias barošanas un gaisa padevi.