Il processo di rivestimento ionico del catodo cavo è il seguente:
1、Mettere i lingotti Chin nel crollo.
2. Montaggio del pezzo.
3. Dopo aver creato il vuoto fino a 5×10⁻³ Pa, il gas argon viene introdotto nella camera di rivestimento attraverso il tubo d'argento e il livello di vuoto è di circa 100 Pa.
4. Attivare la potenza di polarizzazione.
5. Dopo aver acceso l'alimentazione dell'arco per innescare la scarica a catodo cavo, la scarica a bagliore viene generata nel tubo a bottone, la tensione di scarica è di 800~1000 V, la corrente di innesco dell'arco è di 30~50 A. A causa dell'effetto catodo cavo della scarica a bagliore, l'elevata densità di corrente di scarica a bagliore, l'alta densità di ioni di ratto nel tubo d'argento bombarda la parete del tubo di appoggio, facendo riscaldare rapidamente la parete del tubo fino all'emissione di un flusso di elettroni, la modalità di scarica da scarica a bagliore cambia improvvisamente in scarica ad arco, la tensione è di 40~70 V, la corrente è di 80~300 A. La temperatura del tubo d'argento raggiunge oltre 2300 K, incandescente, emette un flusso ad alta densità di elettroni d'arco dal tubo e spara verso l'anodo.
6. Regolazione del livello di vuoto. Il livello di vuoto per la scarica a bagliore dalla pistola a catodo cavo è di circa 100 Pa, e il grado di vuoto per la verniciatura è di 8×10⁻¹~2 Pa. Pertanto, dopo l'innesco della scarica ad arco, ridurre il più rapidamente possibile il gas argon in ingresso e regolare il livello di vuoto a un intervallo adatto per la verniciatura.
7. Strato di base placcato in titanio. Il flusso di elettroni si deposita sul lingotto di metallo Chin collassato anodicamente, la conversione dell'energia cinetica in energia termica, l'evaporazione del metallo Chin tramite riscaldamento, gli atomi di vapore raggiungono il pezzo in lavorazione per formare una pellicola di titanio.
8. Deposizione di TiN. Il gas azoto viene fornito alla camera di rivestimento. Il gas azoto e gli atomi evaporati vengono ionizzati in ioni di azoto e titanio. Sopra il crogiolo, maggiore è la probabilità di collisioni anelastiche degli atomi di vapore di titanio con flussi densi di elettroni a bassa energia. Il tasso di dissociazione del metallo è elevato, pari al 20%~40%. Gli ioni di titanio hanno maggiori probabilità di reagire chimicamente con il gas di reazione azoto, depositando uno strato di film di nitruro. Il cannone a catodo cavo è sia una fonte di vaporizzazione che un'altra fonte di ionizzazione. Durante il rivestimento, la corrente della bobina elettromagnetica attorno al crogiolo deve essere regolata, focalizzando il fascio di elettroni al centro del collasso, in modo da aumentare la densità di potenza del flusso di elettroni.
9. Spegnere. Dopo che lo spessore del film ha raggiunto lo spessore predeterminato, spegnere l'alimentatore dell'arco, l'alimentatore di polarizzazione e l'alimentazione dell'aria.
Data di pubblicazione: 08-lug-2023