Қуыс катодты ионды қаптау процесі келесідей:
1. Иек құймаларын құймаға салыңыз.
2. Дайындаманы орнату.
3, 5×10-3Па дейін буландырғаннан кейін, күміс түтіктен жабын камерасына аргон газы енгізіледі, ал вакуум деңгейі шамамен 100Па құрайды.
4, Айналдыру қуатын қосыңыз.
5, Доға қуатын қосқаннан кейін қуыс катодты разрядты тұтандыру үшін. Түймелік түтікте жарқыл разряды пайда болады, разряд кернеуі 800~1000В, доға көтеру тогы 30~50А. Жарқыл разрядының қуыс катод әсеріне байланысты, жарқыл разрядының жоғары тогының тығыздығы, күміс түтіктегі иондардың жоғары тығыздығы бақылау түтігінің қабырғасын бомбалайды, түтік қабырғасы электрон ағынының шығарылуына тез қызады, жарқыл разрядынан разряд режимі кенеттен доға разрядына ауысады, кернеу 40~70В, ток күші 80~300А. Күміс түтіктің температурасы 2300К-тан жоғары жетеді, қыздыру шамы, түтіктен доға электрондарының жоғары тығыздықтағы ағынын шығарады және анодқа жіберіледі.
6, Вакуум деңгейін реттеу. Қуыс катодты мылтықтан шығатын жарқыл разрядының вакуум деңгейі шамамен 100 Па, ал жабынның вакуумдық дәрежесі 8 × 10-1 ~ 2 Па. Сондықтан, доға разряды тұтанғаннан кейін, кіретін аргон газын мүмкіндігінше тезірек азайтыңыз, вакуум деңгейін жабынға жарамды диапазонға реттеңіз.
7, Титанмен қапталған негізгі қабат. Анодик түрде құлаған Чин металл құймасына электрон ағыны, Кинетикалық энергияны жылу энергиясына түрлендіру, Чин металын қыздыру арқылы булану, Бу атомдары дайындамаға титан қабықшасын түзу үшін жетеді.
8, TiN тұндыру. Азот газы жабын камерасына беріледі, азот газы және буланған атомдар азот пен титан иондарына иондалады. Тигельдің үстінде, титан буы атомдарының төмен энергиялы электрондардың тығыз ағындарымен серпімсіз соқтығысу ықтималдығы жоғары, металл диссоциациялану жылдамдығы 20% ~ 40% дейін жетеді., титан иондарының реакция газы азотымен химиялық әрекеттесуі ықтималдығы жоғары, нитридті мантия қабықшасын алу үшін тұндыру. қуыс катодты мылтық булану көзі болып табылады, иондаудың тағы бір көзі. жабын кезінде, тигельдің айналасындағы электромагниттік катушканың тогы да реттелуі керек, электрон сәулесін құлаудың ортасына бағыттаңыз, осылайша электрон ағынының қуат тығыздығы артады.
9, Қуатты өшіріңіз. Пленка қалыңдығы алдын ала белгіленген пленка қалыңдығына жеткеннен кейін, доғалық қуат көзін, ығысқан қуат көзін және ауа беруді өшіріңіз.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 8 шілде