पोकळ कॅथोड आयन कोटिंगची प्रक्रिया

पोकळ कॅथोड आयन कोटिंगची प्रक्रिया खालीलप्रमाणे आहे:

1、हनुवटीच्या पिल्लांना कोलॅप्समध्ये ठेवा.

2, वर्कपीस माउंट करणे.

3、5×10-3Pa पर्यंत रिकामे केल्यानंतर, सिल्व्हर ट्यूबमधून आर्गॉन गॅस कोटिंग चेंबरमध्ये प्रवेश केला जातो आणि व्हॅक्यूम पातळी सुमारे 100Pa आहे.

4, बायस पॉवर चालू करा.

5、पोकळ कॅथोड डिस्चार्ज प्रज्वलित करण्यासाठी आर्क पॉवर चालू केल्यानंतर. बटन ट्यूबमध्ये ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो, डिस्चार्ज व्होल्टेज 800~1000V आहे, चाप वाढवणारा प्रवाह 30~50A आहे. ग्लोच्या पोकळ कॅथोड प्रभावामुळे डिस्चार्ज,हाय ग्लो डिस्चार्ज करंट डेन्सिटी,सिल्व्हर ट्यूबमधील उंदराच्या आयनची उच्च घनता व्हॅंटेज ट्यूबच्या भिंतीवर भडिमार करते, इलेक्ट्रॉन फ्लोच्या उत्सर्जनापर्यंत ट्यूबची भिंत वेगाने उबदार करते, ग्लो डिस्चार्जमधून डिस्चार्ज मोड अचानक बदलतो चाप डिस्चार्ज, व्होल्टेज 40~70V आहे, वर्तमान 80~300A आहे. सिल्व्हर ट्यूब तापमान 2300K च्या वर पोहोचते, इन्कॅन्डेसेंट, ट्यूबमधून आर्क इलेक्ट्रॉनचा उच्च घनता प्रवाह उत्सर्जित करते आणि एनोडवर शूट केले जाते.

6、व्हॅक्यूम पातळीचे समायोजन. पोकळ कॅथोड गनमधून ग्लो डिस्चार्जसाठी व्हॅक्यूम पातळी सुमारे 100 Pa आहे, आणि कोटिंगची व्हॅक्यूम डिग्री 8×10-1~2Pa आहे. त्यामुळे, आर्क डिस्चार्जच्या प्रज्वलनानंतर, येणारे आर्गॉन कमी करा शक्य तितक्या लवकर गॅस, व्हॅक्यूम पातळी कोटिंगसाठी योग्य श्रेणीमध्ये समायोजित करा.

7、टायटॅनियम प्लेटेड बेस लेयर. अॅनोडिकली कोसळलेल्या चिन मेटल इंगॉटवर इलेक्ट्रॉनचा प्रवाह, गतीज ऊर्जेचे थर्मल एनर्जीमध्ये रूपांतर, गरम करून चिन मेटलचे बाष्पीभवन, टायटॅनियम फिल्म तयार करण्यासाठी बाष्प अणू वर्कपीसपर्यंत पोहोचतात.

8、TiN.नायट्रोजन वायूचा पुरवठा कोटिंग चेंबरला केला जातो,नायट्रोजन वायू आणि बाष्पीभवन केलेले अणू नायट्रोजन आणि टायटॅनियम आयनमध्ये आयनीकृत केले जातात.क्रूसिबलच्या वर, टायटॅनियम वाष्प अणूंच्या लवचिक टक्कर होण्याची उच्च संभाव्यता, कमी-डी-इलेक्ट्रॉन्ससह. धातूचे पृथक्करण दर 20% ~ 40% इतका जास्त आहे., टायटॅनियम आयन रासायनिक रीतीने प्रतिक्रिया वायू नायट्रोजन, नायट्राइड आवरण फिल्म लेयर मिळविण्यासाठी डिपॉझिशनसह होण्याची अधिक शक्यता असते. पोकळ कॅथोड गन दोन्ही बाष्पीभवन स्त्रोत आहे，दुसरा स्रोत ionization.कोटिंग दरम्यान,क्रूसिबलच्या भोवतालच्या इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइलचा प्रवाह देखील समायोजित केला पाहिजे, इलेक्ट्रॉन बीमला कोलॅप्सच्या मध्यभागी केंद्रित करा, अशा प्रकारे, इलेक्ट्रॉन प्रवाहाची उर्जा घनता वाढते.

9、पॉवर बंद. चित्रपटाची जाडी पूर्वनिर्धारित चित्रपटाच्या जाडीपर्यंत पोहोचल्यानंतर, आर्क पॉवर सप्लाय बंद करा、बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सप्लाय.