पोकळ कॅथोड आयन लेपनाची प्रक्रिया खालीलप्रमाणे आहे:
१. कोसळलेल्या भागात चिन इंगॉट्स ठेवा.
२、वर्कपीस बसवणे.
3、5×10-3Pa पर्यंत निर्वात केल्यानंतर, सिल्व्हर ट्यूबमधून कोटिंग चेंबरमध्ये आर्गॉन वायू सोडला जातो आणि निर्वात पातळी सुमारे 100Pa असते.
4、बायस पॉवर चालू करा.
५. हॉलो कॅथोड डिस्चार्ज प्रज्वलित करण्यासाठी आर्क पॉवर चालू केल्यानंतर, बटन ट्यूबमध्ये ग्लो डिस्चार्ज निर्माण होतो. डिस्चार्ज व्होल्टेज ८००~१०००V आणि आर्क-रेझिंग करंट ३०~५०A असतो. ग्लो डिस्चार्जच्या हॉलो कॅथोड प्रभावामुळे, उच्च ग्लो डिस्चार्ज करंट घनता निर्माण होते. सिल्व्हर ट्यूबमधील रॅट आयनची उच्च घनता व्हँटेज ट्यूबच्या भिंतीवर आदळते, ज्यामुळे ट्यूबची भिंत इलेक्ट्रॉन प्रवाहाच्या उत्सर्जनासाठी वेगाने गरम होते. डिस्चार्ज मोड ग्लो डिस्चार्जमधून अचानक आर्क डिस्चार्जमध्ये बदलतो, ज्याचे व्होल्टेज ४०~७०V आणि करंट ८०~३००A असते. सिल्व्हर ट्यूबचे तापमान २३००K च्या वर पोहोचते, ती प्रदीप्त होते आणि ट्यूबमधून आर्क इलेक्ट्रॉनचा उच्च घनतेचा प्रवाह उत्सर्जित होऊन ॲनोडकडे जातो.
६. व्हॅक्यूम पातळीचे समायोजन. हॉलो कॅथोड गनमधून होणाऱ्या ग्लो डिस्चार्जसाठी व्हॅक्यूम पातळी सुमारे १०० Pa असते, आणि कोटिंगसाठी व्हॅक्यूमची पातळी ८×१०⁻¹~२ Pa असते. त्यामुळे, आर्क डिस्चार्ज सुरू झाल्यावर, आत येणारा आर्गॉन वायू शक्य तितक्या लवकर कमी करा आणि कोटिंगसाठी योग्य मर्यादेत व्हॅक्यूम पातळी समायोजित करा.
७、टायटॅनियम लेपित आधार थर. ॲनोडिक पद्धतीने संकुचित केलेल्या चिन मेटलच्या इंगॉटवर इलेक्ट्रॉनचा प्रवाह, गतिज ऊर्जेचे औष्णिक ऊर्जेत रूपांतर, उष्णतेने चिन मेटलचे बाष्पीभवन, बाष्पाचे अणू वर्कपीसपर्यंत पोहोचून टायटॅनियमचा थर तयार करतात.
८. TiN चे निक्षेपण. कोटिंग चेंबरमध्ये नायट्रोजन वायू पुरवला जातो, नायट्रोजन वायू आणि बाष्पीभवन झालेले अणू नायट्रोजन आणि टायटॅनियम आयनांमध्ये आयनीकृत होतात. क्रुसिबलच्या वर, टायटॅनियम बाष्पाच्या अणूंची कमी-ऊर्जेच्या इलेक्ट्रॉनच्या दाट प्रवाहाशी अप्रत्यास्थ टक्कर होण्याची शक्यता जास्त असते, ज्यामुळे धातूच्या विघटनाचा दर २०% ते ४०% पर्यंत असतो. टायटॅनियम आयन प्रतिक्रिया वायू नायट्रोजनसोबत रासायनिक अभिक्रिया करण्याची अधिक शक्यता असते, ज्यामुळे नायट्राइड आवरण फिल्मचा थर मिळवण्यासाठी निक्षेपण होते. हॉलो कॅथोड गन हे बाष्पीभवनाचा स्रोत आणि आयनीकरणाचा दुसरा स्रोत दोन्ही आहे. कोटिंग दरम्यान, क्रुसिबलभोवती असलेल्या इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइलचा प्रवाह देखील समायोजित केला पाहिजे, जेणेकरून इलेक्ट्रॉन बीम कोसळण्याच्या केंद्रावर केंद्रित होईल आणि अशा प्रकारे इलेक्ट्रॉन प्रवाहाची शक्ती घनता वाढेल.
९. वीजपुरवठा बंद करा. फिल्मची जाडी पूर्वनिश्चित जाडीपर्यंत पोहोचल्यावर, आर्क पॉवर सप्लाय, बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सप्लाय बंद करा.
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-०८-२०२३