Boş katod ion örtüyü prosesi aşağıdakı kimidir:
1. Çənə külçələrini çökməyə qoyun.
2, İş parçasının quraşdırılması.
3, 5×10-3Pa-ya qədər boşaldıqdan sonra, gümüş borudan argon qazı örtük kamerasına daxil edilir və vakuum səviyyəsi təxminən 100Pa-dır.
4, qərəz gücünü yandırın.
5, Qövs gücünü işə saldıqdan sonra içiboş katod boşalmasını alovlandırır. Düyməli boruda parıltı boşalması yaranır, Boşaltma gərginliyi 800~1000V, Qövs qaldırma cərəyanı 30~50A-dır. Parıltı boşalmasının içiboş katod effekti səbəbindən yüksək parıltı boşaltma cərəyan sıxlığı, Gümüş borudakı yüksək sıxlıqlı ionlar müşahidə borusunun divarını bombalayır, boru divarının elektron axınının emissiyasına sürətlə isinəməsinə səbəb olur, parıltı boşalmasından boşalma rejimi qəfil olaraq qövs boşalmasına dəyişir, Gərginlik 40~70V, Cərəyan 80~300A-dır. Gümüş borunun temperaturu 2300K-dən yuxarı çatır, Közərmə, borudan yüksək sıxlıqlı qövs elektronları axını yayır və anoda atılır.
6, Vakuum səviyyəsinin tənzimlənməsi. Boş katodlu silahdan parıltı axıdılması üçün vakuum səviyyəsi təxminən 100 Pa, örtükün vakuum dərəcəsi isə 8×10-1~2Pa-dır. Buna görə də, qövs axıdılması alovlandıqdan sonra daxil olan argon qazını mümkün qədər tez azaldın, vakuum səviyyəsini örtük üçün uyğun bir diapazona tənzimləyin.
7, Titan örtüklü əsas təbəqə. Anodik olaraq çökmüş Çin metal külçəsinə elektron axını, Kinetik enerjinin istilik enerjisinə çevrilməsi, Çin metalının qızdırılaraq buxarlanması, Buxar atomları iş parçasına çataraq titan təbəqəsi əmələ gətirir.
8, TiN-in çökməsi. Azot qazı örtük kamerasına verilir, azot qazı və buxarlanmış atomlar azot və titan ionlarına ionlaşır. Tavanın üstündə, titan buxar atomlarının aşağı enerjili elektronların sıx axınları ilə qeyri-elastik toqquşma ehtimalı daha yüksəkdir, metalın dissosiasiya sürəti 20% ~ 40% -ə qədərdir. Titan ionlarının reaksiya qazı azotu ilə kimyəvi reaksiyaya girmə ehtimalı daha yüksəkdir. Nitrid mantiya təbəqəsi əldə etmək üçün çökmə. Boş katod silahı həm buxarlanma mənbəyidir, digər ionlaşma mənbəyidir. Örtük zamanı tavanın ətrafındakı elektromaqnit rulonun cərəyanı da tənzimlənməlidir, elektron şüası çökmənin mərkəzinə yönəldilməlidir, beləliklə, elektron axınının güc sıxlığı artır.
9, Elektrik Söndürülməsi. Filmin qalınlığı əvvəlcədən müəyyən edilmiş film qalınlığına çatdıqdan sonra, qövs enerji təchizatını, qərəzli enerji təchizatını və hava təchizatını söndürün.
Yazı vaxtı: 08 İyul 2023