İçi boş katod ionlarının örtülməsi prosesi

İçi boş katod ionlarının örtülməsi prosesi aşağıdakı kimidir:

1、Çənə külçələrini çökməyə qoyun.

2, İş parçasının quraşdırılması.

3、5×10-3Pa-a qədər evakuasiya edildikdən sonra arqon qazı gümüş borudan örtük kamerasına daxil olur və vakuum səviyyəsi 100Pa civarındadır.

4、Tərəqqi gücünü yandırın.

5、Qövs gücünü işə saldıqdan sonra içi boş katod boşalmasını alovlandırmaq üçün. Parıltı boşalması düymə borusunda əmələ gəlir,Boşaltma gərginliyi 800~1000V, Qövs qaldırıcı cərəyan 30~50A-dır. İşığın boş katod effektinə görə boşalma,Yüksək parıltı axıdılması cərəyanı sıxlığı,Gümüş boruda olan siçovul ionlarının yüksək sıxlığı vantage borusunun divarını bombalayır,Boru divarını elektron axınının emissiyasına qədər sürətlə qızdırın, parıltı boşalmasından boşalma rejimi qəfil dəyişməsi qövs boşalması,Gərginlik 40~70V,Cərəyan 80~300A. Gümüş boru temperaturu 2300K-dan yuxarıya çatır,Közərmə lampası,Borudan qövs elektronlarının yüksək sıxlıqlı axını buraxır və anoda vurulur.

6、Vakuum səviyyəsinin tənzimlənməsi. İçi boş katod silahından parıltı boşalması üçün vakuum səviyyəsi təxminən 100 Pa-dır və örtünün vakuum dərəcəsi 8×10-1~2Pa-dır. Buna görə də, qövs boşalmasının alovlanmasından sonra, daxil olan arqonu azaldın. mümkün qədər tez qazla, Vakuum səviyyəsini örtük üçün uyğun bir diapazona tənzimləyin.

7、Titan örtüklü əsas təbəqə. Anodik şəkildə çökmüş Çənə metal külçəsinə elektron axını, Kinetik enerjinin istilik enerjisinə çevrilməsi, Çənə metalının qızdırılaraq buxarlanması, Buxar atomları titan filmi yaratmaq üçün iş parçasına çatır.

8、TiN-in çökməsi.Azot qazı örtük kamerasına verilir,Azot qazı və buxarlanmış atomlar azot və titan ionlarına ionlaşır.Titandan yuxarı,Titan buxar atomlarının aşağı enerjili sıx elektrik axınları ilə qeyri-elastik toqquşma ehtimalı yüksəkdir, Metalın dissosiasiya dərəcəsi 20% ~ 40% kimi yüksəkdir., Titan ionlarının reaksiya qaz azotu ilə kimyəvi reaksiyaya girmə ehtimalı daha yüksəkdir, Nitrid mantiya təbəqəsi əldə etmək üçün çökmə. İçi boş katod silahı həm buxarlanma mənbəyidir，Başqa mənbə ionlaşmanın.Örtmə zamanı,Tige ətrafında elektromaqnit sarğı cərəyanı da tənzimlənməlidir,Elektron şüasını çökmə mərkəzinə yönəldin,Beləliklə, elektron axınının güc sıxlığı artır.

9、Power Off. Film qalınlığı əvvəlcədən müəyyən edilmiş plyonka qalınlığına çatdıqdan sonra, qövs enerji təchizatını söndürün、Qiyamətli enerji təchizatı və hava təchizatı.