Le processus de revêtement ionique à cathode creuse est le suivant :
1, placez les lingots de Chin dans l'effondrement.
2、Montage de la pièce.
3, après évacuation à 5 × 10-3 Pa, du gaz argon est introduit dans la chambre de revêtement à partir du tube d'argent et le niveau de vide est d'environ 100 Pa.
4, allumez la puissance de polarisation.
5, après avoir allumé l'arc pour allumer la décharge de cathode creuse. La décharge luminescente est générée dans le tube du bouton, la tension de décharge est de 800 ~ 1000 V, le courant d'augmentation de l'arc est de 30 ~ 50 A. En raison de l'effet de cathode creuse de la lueur décharge, densité de courant de décharge luminescente élevée, la haute densité d'ions rat dans le tube d'argent bombarde la paroi du tube de vue, réchauffe rapidement la paroi du tube jusqu'à l'émission du flux d'électrons, le mode de décharge de la décharge luminescente change brusquement en décharge d'arc, la tension est de 40 ~ 70 V, le courant est de 80 ~ 300 A. La température du tube d'argent atteint plus de 2300 K, incandescent, émet un flux haute densité d'électrons d'arc du tube et tiré vers l'anode.
6, réglage du niveau de vide. Le niveau de vide pour la décharge luminescente du pistolet à cathode creuse est d'environ 100 Pa, et le degré de vide du revêtement est de 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Par conséquent, après l'allumage de la décharge d'arc, réduisez l'argon entrant gaz dès que possible, réglez le niveau de vide sur une plage adaptée au revêtement.
7, couche de base plaquée titane. Flux d'électrons sur le lingot de métal Chin anodiquement effondré, conversion de l'énergie cinétique en énergie thermique, évaporation du métal Chin par chauffage, les atomes de vapeur atteignent la pièce pour former un film de titane.
8, le dépôt de TiN. L'azote gazeux est fourni à la chambre de revêtement, l'azote gazeux et les atomes évaporés sont ionisés en ions azote et titane. Au-dessus du creuset, probabilité plus élevée de collisions inélastiques d'atomes de vapeur de titane avec des flux denses d'électrons à faible énergie, Le taux de dissociation du métal est aussi élevé que 20 % ~ 40 %.,Les ions de titane sont plus susceptibles de réagir chimiquement avec l'azote du gaz de réaction.,Dépôt pour obtenir une couche de film de manteau de nitrure.Le pistolet à cathode creuse est à la fois une source de vaporisation, une autre source d'ionisation. Pendant le revêtement, le courant de la bobine électromagnétique autour du creuset doit également être ajusté, Concentrez le faisceau d'électrons sur le centre de l'effondrement, Ainsi, la densité de puissance du flux d'électrons est augmentée.
9, mise hors tension. Une fois que l'épaisseur du film atteint l'épaisseur de film prédéterminée, éteignez l'alimentation de l'arc, l'alimentation de polarisation et l'alimentation en air.
Heure de publication : 08 juillet 2023