Proses pelapisan ion katoda berongga adalah sebagai berikut:
1 、 Masukkan ingot Chin ke dalam keruntuhan.
2. Memasang benda kerja.
3 、 Setelah dievakuasi ke 5 × 10-3Pa, gas argon dimasukkan ke dalam ruang pelapis dari tabung perak, dan tingkat vakum sekitar 100Pa.
4. Hidupkan daya bias.
5. Setelah menyalakan daya busur untuk menyalakan pelepasan katoda berongga. Pelepasan cahaya dihasilkan di tabung tombol, Tegangan pelepasan adalah 800 ~ 1000V, Arus pengangkat busur adalah 30 ~ 50A. Karena efek katoda berongga dari cahaya pelepasan, Kepadatan arus pelepasan cahaya tinggi, Kepadatan tinggi ion tikus dalam tabung perak membombardir dinding tabung yang menguntungkan, Membuat dinding tabung dengan cepat menghangat hingga emisi aliran elektron, mode pelepasan dari pelepasan cahaya tiba-tiba berubah menjadi pelepasan busur, Tegangan 40 ~ 70V, Arus adalah 80 ~ 300A. Suhu tabung perak mencapai di atas 2300K, Pijar, Memancarkan aliran elektron busur kepadatan tinggi dari tabung, dan ditembakkan ke anoda.
6 、 Penyesuaian tingkat vakum. Tingkat vakum untuk pelepasan cahaya dari pistol katoda berongga adalah sekitar 100 Pa, Dan tingkat vakum pelapisan adalah 8 × 10-1 ~ 2Pa. Oleh karena itu, Setelah pengapian pelepasan busur, Kurangi argon yang masuk gas sesegera mungkin, Sesuaikan tingkat vakum ke kisaran yang sesuai untuk pelapisan.
7 、 Lapisan dasar berlapis titanium. Aliran elektron ke ingot logam Chin yang runtuh secara anodik, Konversi energi kinetik menjadi energi panas, Penguapan logam Chin dengan pemanasan, Atom uap mencapai benda kerja untuk membentuk film titanium.
8, Pengendapan TiN.Gas nitrogen disuplai ke ruang pelapis, gas Nitrogen dan atom yang diuapkan diionisasi menjadi ion nitrogen dan titanium. Di atas wadah, Kemungkinan lebih tinggi dari tumbukan inelastis atom uap titanium dengan aliran padat elektron berenergi rendah, Tingkat disosiasi logam setinggi 20% ~ 40%., Ion Titanium lebih cenderung bereaksi secara kimia dengan nitrogen gas reaksi, Deposisi untuk mendapatkan lapisan film mantel nitrida. Pistol katoda berongga adalah sumber penguapan, sumber lain ionisasi. Selama pelapisan, Arus kumparan elektromagnetik di sekitar wadah juga harus disesuaikan, Fokuskan berkas elektron ke pusat keruntuhan, Dengan demikian, kerapatan daya aliran elektron meningkat.
9, Matikan. Setelah ketebalan film mencapai ketebalan film yang telah ditentukan, Matikan catu daya busur, Catu daya bias, dan catu udara.
Waktu posting: Jul-08-2023