Буш катод ионы белән каплау процессы

Буш катод ионнары белән каплау процессы түбәндәгечә:

1. Ияк коелмаларын җимерек урынга салыгыз.

2, Эшкәртелгән әйберне урнаштыру.

3, 5×10-3Па га кадәр эвакуацияләнгәннән соң, көмеш торбадан каплау камерасына аргон газы кертелә, һәм вакуум дәрәҗәсе якынча 100Па тәшкил итә.

4, көчәнеш көченә күчегез.

5, дуга көчен кабызганнан соң, буш катод разрядын кабызыгыз. Төймә трубкасында ялтыравык разряды барлыкка килә, разряд көчәнеше 800 ~ 1000V, дуга күтәрү тогы 30 ~ 50A. Ялтыравык разрядының буш катод эффекты аркасында, югары ялтыравык разряды тогы тыгызлыгы, көмеш трубкадагы югары тыгызлыктагы ионнар күзәтү трубкасы стенасын бомбага тота, трубка стенасы электрон агымы чыгаруга тиз җылына, разряд режимы ялтыравык разряды кинәт дуга разряды белән үзгәрә, көчәнеш 40 ~ 70V, ток 80 ~ 300A. Көмеш трубка температурасы 2300K тан югарырак җитә, лампа, трубкадан югары тыгызлыктагы дуга электроннары агымын чыгара һәм анодка оча.

6, Вакуум дәрәҗәсен көйләү. Буш катодлы пистолеттан ялтыравык чыгару өчен вакуум дәрәҗәсе якынча 100 Па, ә каплауның вакуум дәрәҗәсе 8 × 10-1 ~ 2 Па. Шуңа күрә, дуга чыгаруын кабызганнан соң, керүче аргон газын мөмкин кадәр тизрәк киметегез, вакуум дәрәҗәсен каплау өчен яраклы диапазонга көйләгез.

7, Титан белән капланган төп катлам. Анодик рәвештә җимерелгән Чин металл коелмасына электрон агымы, Кинетик энергияне җылылык энергиясенә әйләндерү, Чин металлын җылыту аша парга әйләндерү, Пар атомнары эш кисәгенә барып титан пленкасы барлыкка китерә.

8, TiN утырту. Азот газы каплау камерасына бирелә, азот газы һәм парга әйләнгән атомнар азот һәм титан ионнарына ионлаштырыла. Тигель өстендә, титан пары атомнарының түбән энергияле электроннарның тыгыз агымнары белән эластик булмаган бәрелешү ихтималы югарырак, металл диссоциациясе тизлеге 20% ~ 40% ка кадәр җитә. Титан ионнары реакция газы азоты белән химик реакциягә керү ихтималы югарырак, нитрид мантия пленкасы катламын алу өчен утырту. Буш катод пистолеты парга әйләнү чыганагы булып тора, ионлашуның тагын бер чыганагы. Каплау вакытында, тигель тирәсендәге электромагнит катушканың агымын да көйләргә кирәк, электрон нурын җимерелү үзәгенә юнәлтегез, шулай итеп, электрон агымының көч тыгызлыгы арта.

9, Электрны сүндерегез. Пленка калынлыгы билгеләнгән пленка калынлыгына җиткәч, дуга электр белән тәэмин итүне, көчәнешле электр белән тәэмин итүне һәм һава белән тәэмин итүне сүндерегез.