Njira yopangira ma ion a cathode yopanda kanthu ndi iyi:
1. Ikani zingwe za Chin mu kugwa.
2, Kuyika workpiece.
3. Pambuyo pochoka ku 5 × 10-3Pa, mpweya wa argon umalowetsedwa m'chipinda chophikira kuchokera mu chubu cha siliva, ndipo mulingo wa vacuum ndi pafupifupi 100Pa.
4. Yatsani mphamvu ya bias.
5. Mukayatsa mphamvu ya arc kuti muyatse kutuluka kwa cathode yopanda kanthu. Kutuluka kwa kuwala kumapangidwa mu chubu cha batani, Mphamvu yotulutsa ndi 800 ~ 1000V, Mphamvu yokweza arc ndi 30 ~ 50A. Chifukwa cha mphamvu ya cathode yopanda kanthu ya kutuluka kwa kuwala, Kuchuluka kwa mphamvu yotulutsa kuwala, Kuchuluka kwa ma ion a makoswe mu chubu cha siliva kumagunda khoma la chubu chowoneka bwino, Kumapangitsa khoma la chubu kutentha mofulumira mpaka kutuluka kwa ma electron, njira yotulutsira kuwala kuchokera ku kutuluka kwa kuwala kusintha mwadzidzidzi kupita ku kutuluka kwa arc, Voltage ndi 40 ~ 70V, Mphamvu yamagetsi ndi 80 ~ 300A. Kutentha kwa chubu cha siliva kumafika pamwamba pa 2300K, Incandescent, Imatulutsa mtsinje wochuluka wa ma electron a arc kuchokera mu chubu, ndikuwomberedwa kupita ku anode.
6. Kusintha kwa mulingo wa vacuum. Mulingo wa vacuum wotulutsa kuwala kuchokera ku mfuti ya cathode yopanda kanthu ndi pafupifupi 100 Pa, Ndipo mulingo wa vacuum wophimba ndi 8 × 10-1 ~ 2Pa. Chifukwa chake, Mukayatsa kutulutsa kwa arc, chepetsani mpweya wa argon womwe ukubwera mwachangu momwe mungathere, Sinthani mulingo wa vacuum kukhala woyenerera kupaka.
7. Magawo oyambira okhala ndi titaniyamu. Ma elekitironi amalowa mu ingot yachitsulo cha Chin yomwe yagwa mopanda mawonekedwe, Kusintha kwa mphamvu ya kinetic kukhala mphamvu ya kutentha, Kutuluka kwa nthunzi yachitsulo cha Chin mwa kutentha, Maatomu a nthunzi amafika pa workpiece kuti apange filimu ya titaniyamu.
8、Kuika TiN. Mpweya wa nayitrogeni umaperekedwa ku chipinda chophikira, Mpweya wa nayitrogeni ndi maatomu osungunuka amasinthidwa kukhala ma ayoni a nayitrogeni ndi titaniyamu. Pamwamba pa chophikira, Pali mwayi waukulu woti maatomu a nthunzi ya titaniyamu agundane ndi mitsinje yolimba ya ma elekitironi opanda mphamvu zambiri, Kuchuluka kwa kugawanika kwa zitsulo kumakhala kokwera kufika pa 20% ~ 40%., Ma ayoni a titaniyamu amatha kuchitapo kanthu ndi nayitrogeni ya mpweya wothira, Kuika kuti apeze filimu ya nitride mantle. Mfuti ya cathode yopanda kanthu ndi gwero la nthunzi, gwero lina la ionization. Pakuika, Mphamvu ya coil ya electromagnetic yozungulira chophikira iyeneranso kusinthidwa, Yang'anani kuwala kwa ma elekitironi pakati pa kugwa, Chifukwa chake, kuchuluka kwa mphamvu ya kuyenda kwa ma elekitironi kumawonjezeka.
9、Zimitsani. Filimu ikafika pa makulidwe a filimu yomwe yakonzedweratu, zimitsani magetsi a arc、magetsi a Bias ndi mpweya.
Nthawi yotumizira: Julayi-08-2023