Mchakato wa mipako ya ioni ya kathodi yenye mashimo

Mchakato wa mipako ya ioni ya cathode yenye mashimo ni kama ifuatavyo:

1、Weka ingots za kidevu kwenye sehemu iliyoanguka.

2, Kuweka kipengee cha kazi.

3. Baada ya kuhama hadi 5×10-3Pa, gesi ya argon huingizwa kwenye chumba cha mipako kutoka kwenye bomba la fedha, na kiwango cha utupu ni karibu 100Pa.

4. Washa nguvu ya upendeleo.

5. Baada ya kuwasha nguvu ya arc ili kuwasha kutokwa kwa cathode yenye mashimo. Utoaji wa mwanga huzalishwa kwenye bomba la kitufe, Volti ya kutokwa ni 800~1000V, Mkondo wa kuongeza arc ni 30~50A. Kutokana na athari ya cathode yenye mashimo ya kutokwa kwa mwanga, Msongamano mkubwa wa mkondo wa kutokwa kwa mwanga, Msongamano mkubwa wa ioni za panya kwenye bomba la fedha hushambulia ukuta wa bomba la kuona, Hufanya ukuta wa bomba kuwa joto haraka hadi kutoa mtiririko wa elektroni, hali ya kutokwa kutoka kwa kutokwa kwa mwanga hubadilika ghafla hadi kutoa arc, Volti ni 40~70V, Mkondo ni 80~300A. Joto la bomba la fedha hufikia zaidi ya 2300K, Incandescent, Hutoa mkondo wa msongamano mkubwa wa elektroni za arc kutoka kwenye bomba, na kupigwa hadi kwenye anode.

6、Marekebisho ya kiwango cha utupu. Kiwango cha utupu kwa ajili ya kutoa mwanga kutoka kwa bunduki ya kathodi yenye mashimo ni takriban Pa 100, Na kiwango cha utupu cha mipako ni Pa 8×10-1~2. Kwa hivyo, Baada ya kuwasha kwa kutokwa kwa arc, Punguza gesi ya argon inayoingia haraka iwezekanavyo, Rekebisha kiwango cha utupu hadi kwenye safu inayofaa kwa mipako.

7、Safu ya msingi iliyofunikwa na titaniamu. Mtiririko wa elektroni kwenye ingot ya chuma cha Chin iliyoanguka kwa njia isiyo na odi, Ubadilishaji wa nishati ya kinetiki kuwa nishati ya joto, Uvukizi wa chuma cha Chin kwa kupasha joto, Atomi za mvuke hufikia kipande cha kazi na kuunda filamu ya titaniamu.

8、Utengano wa TiN. Gesi ya nitrojeni hutolewa kwenye chumba cha mipako, Gesi ya nitrojeni na atomi zilizovukizwa hubadilishwa kuwa ioni za nitrojeni na titani. Juu ya chombo cha kusulubu, Uwezekano mkubwa wa migongano ya inelastic ya atomi za mvuke wa titani na mito minene ya elektroni zenye nishati kidogo, Kiwango cha kutengana kwa chuma ni cha juu kama 20% ~ 40%., Ioni za titani zina uwezekano mkubwa wa kuguswa na nitrojeni ya gesi ya mmenyuko, Utengano ili kupata safu ya filamu ya nitridi. Bunduki ya cathode yenye mashimo ni chanzo cha uvukizi, Chanzo kingine cha ioni. Wakati wa mipako, mkondo wa koili ya sumakuumeme inayozunguka chombo cha kusulubu unapaswa pia kurekebishwa, Zingatia boriti ya elektroni katikati ya kuanguka, Kwa hivyo, msongamano wa nguvu wa mtiririko wa elektroni huongezeka.

9、Zima. Baada ya unene wa filamu kufikia unene wa filamu uliopangwa awali, Zima usambazaji wa umeme wa arc、Usambazaji wa umeme wa upendeleo na usambazaji wa hewa.