Mchakato wa mipako ya ion ya cathode ya mashimo

Mchakato wa mipako ya ion ya cathode ni kama ifuatavyo.

1, Weka ingo za Kidevu kwenye kukunja.

2, Kuweka kiboreshaji cha kazi.

3, Baada ya kuhama hadi 5 × 10-3Pa, gesi ya argon huletwa kwenye chumba cha mipako kutoka kwa bomba la fedha, na kiwango cha utupu ni karibu 100Pa.

4. Washa nguvu ya upendeleo.

5, Baada ya kuwasha nguvu ya arc ili kuwasha utiririshaji wa cathode iliyo na mashimo. Utoaji wa mwanga unatolewa kwenye bomba la kitufe, Voltage ya kutokwa ni 800 ~ 1000V, mkondo wa kupandisha arc ni 30~50A.Kutokana na athari ya upenyo wa cathode ya mwanga. kutokwa, msongamano wa sasa wa kutokwa kwa mwanga mwingi, msongamano mkubwa wa ioni za panya kwenye mirija ya fedha hushambulia ukuta wa bomba la vantage,Fanya ukuta wa bomba joto kwa kasi hadi utoaji wa mtiririko wa elektroni, hali ya kutokwa kutoka kwa kutokwa kwa mwanga hubadilika ghafla hadi arc kutokwa, Voltage ni 40~70V, Sasa ni 80~300A. Joto la bomba la fedha hufikia zaidi ya 2300K,Incandescent, Hutoa mkondo wa msongamano mkubwa wa elektroni za arc kutoka kwenye bomba, na risasi hadi anode.

6, Marekebisho ya kiwango cha utupu. Kiwango cha utupu cha kutokwa kwa mwanga kutoka kwa bunduki ya cathode isiyo na mashimo ni takriban Pa 100, Na kiwango cha utupu cha mipako ni 8 × 10-1 ~ 2Pa. gesi haraka iwezekanavyo,Rekebisha kiwango cha utupu hadi safu inayofaa kwa kupaka.

7, Titanium plated base layer.Mtiririko wa elektroni kwenye ingot ya chuma ya kidevu iliyoporomoka kwa njia isiyo ya kawaida, Ubadilishaji wa nishati ya kinetiki hadi nishati ya joto, Uvukizi wa chuma cha Kidevu kwa kupasha joto, Atomi za mvuke hufikia kifaa cha kufanyia kazi ili kuunda filamu ya titani.

8, Uwekaji wa TiN. Gesi ya nitrojeni hutolewa kwa chemba ya mipako, gesi ya nitrojeni na atomi zilizovukizwa hutiwa ioni kuwa ioni za nitrojeni na titani. Juu ya crucible, uwezekano mkubwa wa migongano ya inelastic ya atomi za mvuke wa titani na mikondo mnene ya elektroni zisizo na nishati kidogo, Kiwango cha mtengano wa metali ni cha juu hadi 20% ~ 40%.,Ioni za titani zina uwezekano mkubwa wa kuathiriwa na kemikali na nitrojeni ya gesi ya mmenyuko,Mtuo wa kupata safu ya filamu ya vazi la nitridi.Bunduki ya cathode yenye mashimo yote ni chanzo cha mvuke，Chanzo kingine ya ionization.Wakati wa mipako, sasa ya coil ya sumakuumeme karibu na crucible inapaswa pia kubadilishwa, Kuzingatia boriti ya elektroni katikati ya kuanguka, Kwa hivyo, msongamano wa nguvu wa mtiririko wa elektroni huongezeka.

9, Power Off.Baada ya unene wa filamu kufikia unene wa filamu uliotanguliwa, Zima usambazaji wa umeme wa arc, usambazaji wa umeme wa Upendeleo na usambazaji wa hewa.