Көңдөй катод иондорун каптоо процесси төмөнкүдөй:
1, Эңкейиш куймаларын кулап түшүүчү жерге салыңыз.
2, Иштетилген бөлүктү орнотуу.
3, 5×10-3Пага чейин эвакуациялангандан кийин, күмүш түтүктөн каптоо камерасына аргон газы киргизилет жана вакуумдун деңгээли 100Па тегерегинде болот.
4, бурулуш күчүн күйгүзүңүз.
5, Дого кубатын күйгүзгөндөн кийин, көңдөй катод разрядын тутандыруу керек. Жаркыроо разряды баскыч түтүгүндө пайда болот, разряд чыңалуусу 800 ~ 1000V, дого көтөрүүчү ток 30 ~ 50A. Жаркыроо разрядынын көңдөй катоддук эффектинен улам, жаркыроо разрядынын жогорку тыгыздыгы, күмүш түтүктөгү иондордун жогорку тыгыздыгы байкоочу түтүктүн дубалын бомбалайт, түтүктүн дубалы электрон агымынын эмиссиясына тез ысыйт, разряд режими жаркыроо разрядынан дого разрядына кескин өзгөрөт, чыңалуу 40 ~ 70V, ток күчү 80 ~ 300A. Күмүш түтүктүн температурасы 2300K жогору жетет, ысытуу, түтүктөн дого электрондорунун жогорку тыгыздыктагы агымын чыгарат жана анодго чачыратат.
6, вакуумдун деңгээлин жөндөө. Көңдөй катоддук мылтыктан чыккан жаркыроо үчүн вакуумдук деңгээл болжол менен 100 Па, ал эми каптоонун вакуумдук даражасы 8 × 10-1 ~ 2 Па. Ошондуктан, дого разряды күйгөндөн кийин, кирүүчү аргон газын мүмкүн болушунча тезирээк азайтыңыз, вакуумдук деңгээлди каптоого ылайыктуу диапазонго коюңуз.
7, титан менен капталган негизги катмар. Анодик түрдө кулаган Чин металл куймасына электрондук агым, кинетикалык энергияны жылуулук энергиясына айландыруу, Чин металлын ысытуу менен буулантуу, Буу атомдору титан пленкасын түзүү үчүн жумуш бөлүгүнө жетет.
8, TiN чөкмөсү. Азот газы каптоо камерасына берилет, азот газы жана бууланган атомдор азот жана титан иондоруна иондолот. Тигельдин үстүндө, титан буусунун атомдорунун аз энергиялуу электрондордун тыгыз агымдары менен ийкемсиз кагылышуу ыктымалдуулугу жогору, металлдын диссоциациялануу ылдамдыгы 20% ~ 40% га чейин жетет., титан иондору реакция газынын азоту менен химиялык реакцияга кирүү ыктымалдуулугу жогору, нитрид мантиясынын пленка катмарын алуу үчүн чөкмө. Көңдөй катод мылтыгы буулануу булагы болуп саналат, иондоштуруунун дагы бир булагы. Каптоо учурунда, тигельдин айланасындагы электромагниттик катушканын агымын да тууралоо керек, электрондук нурду кулап түшүүнүн борборуна багыттаңыз, ошентип, электрон агымынын кубаттуулук тыгыздыгы жогорулайт.
9, электр энергиясын өчүрүү. Плёнканын калыңдыгы алдын ала белгиленген плёнканын калыңдыгына жеткенден кийин, жаа кубатын, бир тараптуу кубат берүүчү жана аба менен камсыздоону өчүрүңүз.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 8-июлу