Ferlið við hola bakskautjónahúð er sem hér segir:
1、Settu Chin hleifar í hrunið.
2、 Að setja vinnustykkið upp.
3、Eftir tæmingu í 5×10-3Pa er argongas sett inn í húðunarhólfið úr silfurrörinu og lofttæmisstigið er um 100Pa.
4、 Kveiktu á hlutdrægni.
5、Eftir að kveikt er á ljósbogaaflinu til að kveikja á holu bakskautsúthleðslunni. Glóðafhleðslan myndast í hnapparörinu, losunarspenna er 800 ~ 1000V, bogahækkunarstraumurinn er 30 ~ 50A. Vegna holra bakskautsáhrifa ljóma afhleðsla, Hár ljómaútskriftarstraumþéttleiki, Hár þéttleiki rottajóna í silfurrörinu sprengir vegg útsýnisrörsins, Láttu rörvegginn hitna hratt upp í losun rafeindaflæðis, losunarhamurinn frá glóðafhleðslunni breytist skyndilega í Bogaúthleðsla, Spenna er 40~70V, Straumur er 80~300A. Silfurrörhiti nær yfir 2300K, Glóandi, Gefur frá sér háþéttan straum af ljósbogaraeindum frá rörinu og skotið að rafskautinu.
6、Aðlögun lofttæmisstigs. Tómarúmsstigið fyrir glóðafhleðslu frá holri bakskautsbyssu er um 100 Pa, og lofttæmisstig húðunar er 8×10-1~2Pa.Þess vegna, Eftir kveikju í ljósbogaútskrift, Dragðu úr innkomandi argon gas eins fljótt og auðið er, Stilltu lofttæmisstigið á svið sem hentar fyrir húðun.
7、Títanhúðað grunnlag.Rafeindaflæði á rafskautshrynjandi hökumálmhleif, Breyting hreyfiorku í varmaorku, Uppgufun hökumálms með upphitun, Gufuatóm ná vinnustykkinu til að mynda títanfilmu.
8、Útfelling TiN.Köfnunarefnisgasi er veitt í húðunarhólfið,Köfnunarefnisgas og uppgufuð atóm eru jónuð í köfnunarefnis- og títanjónir.Yfir deiglunni, Meiri líkur á óteygjanlegum árekstrum títangufuatóma með þéttum straumum af lág-enorku rafeindum, Málmsundrunarhraði er allt að 20%~40%.,Títanjónir eru líklegri til að bregðast efnafræðilega við köfnunarefni í hvarfgasinu,Útfelling til að fá nítríð möttulfilmulag. Hola bakskautsbyssan er bæði uppgufunargjafi，Önnur uppspretta jónun. Við húðun ætti einnig að stilla straum rafsegulspólunnar í kringum deigluna, Einbeita rafeindageislanum að miðju hrunsins, Þannig eykst aflþéttleiki rafeindaflæðis.
9、Slökkt á afl. Eftir að filmuþykktin hefur náð fyrirfram ákveðinni filmuþykkt, slökktu á bogaaflgjafa、Fordrætti aflgjafa og loftgjafa.
Pósttími: júlí-08-2023