Üreges katód ionos bevonat folyamata

Az üreges katód ionos bevonat folyamata a következő:

1. Helyezze a Chin tuskót az összeomlásba.

2. A munkadarab felszerelése.

3 、 5 × 10-3 Pa-ra való evakuálás után argongázt vezetnek be a bevonat kamrába az ezüstcsőből, és a vákuumszint körülbelül 100 Pa.

4. Kapcsolja be az előfeszítést.

5、Az ív bekapcsolása után az üreges katód kisülés meggyújtása.Az izzó kisülés a gombcsőben jön létre,kisülési feszültség 800-1000V,Az ívnövelő áram 30-50A.Az izzás üregkatódos hatása miatt kisülés, nagy izzítókisülési áramsűrűség, az ezüstcsőben lévő patkányionok nagy sűrűsége bombázza a kilátó cső falát, gyorsan felmelegíti a cső falát az elektronáramlás kibocsátásához, a kisülési mód az izzító kisülésből hirtelen megváltozik ívkisülés, Feszültség 40 ~ 70 V, Áram 80 ~ 300 A. Az ezüst cső hőmérséklete eléri a 2300 K fölé, Izzólámpa, Nagy sűrűségű ívelektronokat bocsát ki a csőből, és az anódra lövi.

6. Vákuumszint beállítása. Az üreges katódpisztoly izzókisülésének vákuumszintje körülbelül 100 Pa, a bevonat vákuumfoka pedig 8×10-1~2 Pa. Ezért az ívkisülés meggyújtása után csökkentse a bejövő argon mennyiségét gázt a lehető leghamarabb,Állítsa be a vákuumszintet a bevonatnak megfelelő tartományba.

7. Titán bevonatú alapréteg. Elektronáram az anódosan összeesett Chin fémrúdra, A kinetikus energia átalakítása hőenergiává, A Chin fém elpárologtatása melegítés hatására, A gőzatomok elérik a munkadarabot, és titán filmet alkotnak.

8、TiN lerakódása.Nitrogéngáz kerül a bevonat kamrába,Nitrogéngáz és elpárolgott atomok ionizálódnak nitrogén- és titánionokká.A tégely felett,Nagyobb a valószínűsége a titángőz atomok rugalmatlan ütközésének a sűrű elektronáramokkal,kis energiájú A fém disszociációs sebessége akár 20-40%., A titán ionok nagyobb valószínűséggel lépnek kémiai reakcióba a reakciógáz nitrogénjével, Lerakódás, hogy nitrid köpenyréteget kapjunk. Az üreges katódágyú elpárologtatási forrás, egy másik forrás Az ionizáció.Bevonás közben,Az olvasztótégely körüli elektromágneses tekercs áramát is be kell állítani,Az elektronsugarat az összeomlás közepére fókuszálni,Így az elektronáramlás teljesítménysűrűsége megnő.

9、Kikapcsolás. Miután a filmvastagság elérte az előre meghatározott rétegvastagságot, kapcsolja ki az ívtápellátást、Bias tápegységet és levegőellátást.