Proses pelapisan ion katoda berongga kaya ing ngisor iki:
1. Lebokake batangan dagu ing njero runtuhan.
2. Pemasangan benda kerja.
3. Sawisé suhu mudhun nganti 5 × 10-3Pa, gas argon dilebokake menyang ruang lapisan saka tabung perak, lan tingkat vakum sekitar 100Pa.
4. Aktifake daya bias.
5. Sawise nguripake daya busur, copot katoda kopong bakal diobong. Cahya metu saka tabung tombol. Tegangan debit yaiku 800 ~ 1000V. Arus sing mundhakake busur yaiku 30 ~ 50A. Amarga efek katoda kopong saka cahya metu, Kapadhetan arus cahya metu sing dhuwur, Kapadhetan ion tikus sing dhuwur ing tabung perak nembus tembok tabung sing apik. Nggawe tembok tabung cepet anget amarga emisi aliran elektron. Mode cahya metu saka cahya metu dadakan dadi cahya metu, Tegangan yaiku 40 ~ 70V. Arus yaiku 80 ~ 300A. Suhu tabung perak tekan ndhuwur 2300K. Pijar. Ngetokake aliran elektron busur kapadhetan dhuwur saka tabung, lan ditembak menyang anoda.
6. Penyesuaian tingkat vakum. Tingkat vakum kanggo pelepasan cahya saka bedhil katoda berongga kira-kira 100 Pa, lan derajat lapisan vakum yaiku 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Mulane, sawise pelepasan busur penyalaan, kurangi gas argon sing mlebu sanalika bisa, setel tingkat vakum menyang kisaran sing cocog kanggo lapisan.
7. Lapisan dasar berlapis titanium. Aliran elektron menyang ingot logam Chin sing ambruk sacara anodik, Konversi energi kinetik dadi energi termal, Penguapan logam Chin kanthi pemanasan, Atom uap tekan benda kerja kanggo mbentuk film titanium.
8. Deposisi TiN. Gas nitrogen disedhiyakake menyang ruang lapisan, Gas nitrogen lan atom sing nguap diionisasi dadi ion nitrogen lan titanium. Ing ndhuwur wadhah, kemungkinan tabrakan inelastis atom uap titanium kanthi aliran elektron energi rendah sing padhet luwih dhuwur, tingkat disosiasi logam dhuwure 20% ~ 40%. ion titanium luwih cenderung reaksi kimia karo gas nitrogen reaksi, deposisi kanggo entuk lapisan film mantel nitrida. bedhil katoda berongga minangka sumber penguapan, sumber ionisasi liyane. sajrone lapisan, arus kumparan elektromagnetik ing sekitar wadhah uga kudu diatur, fokusake sinar elektron menyang tengah ambruk, kanthi mangkono, kapadhetan daya aliran elektron tambah.
9. Pateni. Sawise kekandelan film tekan kekandelan film sing wis ditemtokake, pateni catu daya busur, catu daya bias lan catu udara.
Wektu kiriman: 08-Jul-2023