Prosés palapis ion katoda berongga nyaéta sapertos kieu:
1. Lebetkeun batangan gado kana liangna.
2. Pasangkeun benda kerja.
3, Saatos ngévakuasi ka 5 × 10-3Pa, gas argon diasupkeun kana rohangan palapis tina tabung pérak, sareng tingkat vakum sakitar 100Pa.
4. Hurungkeun daya bias.
5、Saatos ngahurungkeun daya busur pikeun ngahurungkeun debit katoda kosong. Debit cahaya dihasilkeun dina tabung tombol, Tegangan debit nyaéta 800 ~ 1000V, Arus anu naékkeun busur nyaéta 30 ~ 50A. Kusabab pangaruh katoda kosong tina debit cahaya, Kapadetan arus debit cahaya anu luhur, Kapadetan ion beurit anu luhur dina tabung pérak ngabombardir témbok tabung vantage, Ngajadikeun témbok tabung gancang haneut kana émisi aliran éléktron, mode debit tina debit cahaya robah dadakan kana debit busur, Tegangan nyaéta 40 ~ 70V, Arus nyaéta 80 ~ 300A. Suhu tabung pérak ngahontal di luhur 2300K, Pijar, Ngaluarkeun aliran éléktron busur kapadetan anu luhur tina tabung, teras ditémbak ka anoda.
6. Pangaluyuan tingkat vakum. Tingkat vakum pikeun ngaleupaskeun cahaya tina bedil katoda berongga nyaéta sakitar 100 Pa, Sareng tingkat palapis vakum nyaéta 8 × 10-1 ~ 2Pa. Ku alatan éta, Saatos ngaduruk pelepasan busur, Kurangi gas argon anu asup gancang-gancang, Sesuaikeun tingkat vakum kana rentang anu cocog pikeun palapis.
7. Lapisan dasar berlapis titanium. Aliran éléktron kana ingot logam Chin anu runtuh sacara anodik, Konvérsi énergi kinétik jadi énergi termal, Panguapan logam Chin ku cara dipanaskeun, Atom uap ngahontal benda kerja pikeun ngabentuk pilem titanium.
8. Déposisi TiN. Gas nitrogén disayogikeun ka rohangan palapis, Gas nitrogén sareng atom anu nguap diionisasi janten ion nitrogén sareng titanium. Di luhur wadah, Kamungkinan tabrakan inelastis atom uap titanium anu langkung luhur sareng aliran éléktron énergi rendah anu padet, Laju disosiasi logam dugi ka 20% ~ 40%., Ion titanium langkung condong réaksi sacara kimiawi sareng gas réaksi nitrogén, Déposisi pikeun kéngingkeun lapisan pilem mantel nitrida. Bedil katoda berongga mangrupikeun sumber penguapan, Sumber ionisasi anu sanés. Salila palapis, Arus kumparan éléktromagnétik di sakitar wadah ogé kedah disaluyukeun, Fokuskeun sinar éléktron ka tengah runtuhna, Ku kituna, kapadetan kakuatan aliran éléktron ningkat.
9. Pareuman. Saatos ketebalan pilem ngahontal ketebalan pilem anu ditangtukeun, pareuman catu daya busur, catu daya bias sareng catu daya hawa.
Waktos posting: Jul-08-2023