Processen med hul katode ion belægning er som følger:
1、Sæt Chin ingots i kollapset.
2、Montering af emnet.
3、 Efter evakuering til 5×10-3Pa indføres argongas i belægningskammeret fra sølvrøret, og vakuumniveauet er omkring 100Pa.
4、Tænd for forspænding.
5, Efter at have tændt for lysbuen for at antænde den hule katodeudladning. Glødeudladningen genereres i knaprøret, Afladningsspændingen er 800 ~ 1000V, den bueforhøjende strøm er 30 ~ 50A. På grund af den hule katodeeffekt af glød udladning, Høj lysudladningsstrømtæthed, Den høje tæthed af rationer i sølvrøret bombarderer udsigtsrørets væg, Få rørvæggen til hurtigt at varme op til emission af elektronstrøm, udladningstilstanden fra lysudladningen pludselig ændring til bueafladning, Spænding er 40~70V, Strøm er 80~300A. Sølvrørstemperatur når over 2300K, Glødelampe, Udsender en strøm af lysbueelektroner med høj tæthed fra røret og skydes til anoden.
6、Justering af vakuumniveau. Vakuumniveauet for glødeudladning fra hul katodepistol er omkring 100 Pa, og vakuumgraden af belægningen er 8×10-1~2Pa. Derfor, Efter tænding af lysbueudladningen, Reducer den indkommende argon gas så hurtigt som muligt, Juster vakuumniveauet til et område, der er egnet til belægning.
7, titaniumbelagt basislag. Elektronstrøm på den anodisk kollapsede hagemetalbarre, Omdannelse af kinetisk energi til termisk energi, Fordampning af hagemetal ved opvarmning, Dampatomer når arbejdsemnet for at danne en titaniumfilm.
8、Deposition af TiN. Nitrogengas tilføres til belægningskammeret, Nitrogengas og fordampede atomer ioniseres til nitrogen- og titaniumioner.Over diglen, Højere sandsynlighed for uelastiske kollisioner af titaniumdampatomer med tætte strømme af lavenergiske elektroner, Metaldissociationshastigheden er så høj som 20%~40%.,Titanioner er mere tilbøjelige til at reagere kemisk med reaktionsgassen nitrogen,aflejring for at opnå et nitridkappefilmlag.Den hule katodepistol er både en fordampningskilde,En anden kilde af ionisering.Under belægning,Strøm af den elektromagnetiske spole omkring diglen bør også justeres,Fokuser elektronstrålen til midten af kollapset,Således øges effekttætheden af elektronstrømmen.
9、Sluk. Når filmtykkelsen når den forudbestemte filmtykkelse, sluk for lysbuestrømforsyning、Basstrømforsyning og luftforsyning.
Indlægstid: Jul-08-2023