হলো ক্যাথোড আয়ন লেপন প্রক্রিয়াটি নিম্নরূপ:
১. ধসে পড়া অংশে চিন পিণ্ডগুলো রাখুন।
২. ওয়ার্কপিসটি স্থাপন করা।
৩. 5×10⁻³Pa পর্যন্ত বায়ুশূন্য করার পর, রূপার নল থেকে কোটিং চেম্বারে আর্গন গ্যাস প্রবেশ করানো হয় এবং ভ্যাকুয়ামের মাত্রা প্রায় 100Pa থাকে।
৪. বায়াস পাওয়ার চালু করুন।
৫. হলো ক্যাথোড ডিসচার্জ প্রজ্বলিত করার জন্য আর্ক পাওয়ার চালু করার পর, বাটন টিউবের মধ্যে গ্লো ডিসচার্জ উৎপন্ন হয়। ডিসচার্জ ভোল্টেজ ৮০০~১০০০V এবং আর্ক-উত্তোলনকারী কারেন্ট ৩০~৫০A হয়ে থাকে। গ্লো ডিসচার্জের হলো ক্যাথোড প্রভাবের কারণে, উচ্চ গ্লো ডিসচার্জ কারেন্ট ডেনসিটির ফলে সিলভার টিউবের মধ্যে থাকা উচ্চ ঘনত্বের আয়নগুলো ভ্যান্টেজ টিউবের দেওয়ালে আঘাত করে, যা টিউবের দেওয়ালকে দ্রুত উত্তপ্ত করে ইলেকট্রন প্রবাহ নির্গত করে। এর ফলে ডিসচার্জ মোড গ্লো ডিসচার্জ থেকে হঠাৎ আর্ক ডিসচার্জে পরিবর্তিত হয়, যেখানে ভোল্টেজ ৪০~৭০V এবং কারেন্ট ৮০~৩০০A থাকে। সিলভার টিউবের তাপমাত্রা ২৩০০K-এর উপরে পৌঁছে যায়, যা উত্তপ্ত হয়ে টিউব থেকে উচ্চ ঘনত্বের আর্ক ইলেকট্রনের একটি স্রোত নির্গত করে এবং অ্যানোডের দিকে ছুটে যায়।
৬. ভ্যাকুয়াম লেভেলের সমন্বয়। হলো ক্যাথোড গান থেকে গ্লো ডিসচার্জের জন্য ভ্যাকুয়াম লেভেল প্রায় ১০০ Pa, এবং কোটিং-এর জন্য ভ্যাকুয়ামের মাত্রা হলো ৮×১০⁻¹~২ Pa। অতএব, আর্ক ডিসচার্জ প্রজ্বলনের পর, যত তাড়াতাড়ি সম্ভব প্রবেশকারী আর্গন গ্যাসের পরিমাণ কমিয়ে আনুন এবং ভ্যাকুয়াম লেভেলকে কোটিং-এর জন্য উপযুক্ত একটি পরিসরে সমন্বয় করুন।
৭. টাইটানিয়াম প্রলেপযুক্ত ভিত্তি স্তর। অ্যানোডিকভাবে সংকুচিত চিন ধাতব পিণ্ডের উপর ইলেকট্রনের প্রবাহ, গতিশক্তিকে তাপশক্তিতে রূপান্তর, উত্তাপের মাধ্যমে চিন ধাতুর বাষ্পীভবন, বাষ্পীয় পরমাণুগুলো ওয়ার্কপিসে পৌঁছে একটি টাইটানিয়াম ফিল্ম তৈরি করে।
৮. TiN-এর অবক্ষেপণ। কোটিং চেম্বারে নাইট্রোজেন গ্যাস সরবরাহ করা হয়। নাইট্রোজেন গ্যাস এবং বাষ্পীভূত পরমাণুগুলো আয়নিত হয়ে নাইট্রোজেন এবং টাইটানিয়াম আয়নে পরিণত হয়। ক্রুসিবলের উপরে, কম-শক্তির ইলেকট্রনের ঘন প্রবাহের সাথে টাইটানিয়াম বাষ্পের পরমাণুগুলোর অস্থিতিস্থাপক সংঘর্ষের সম্ভাবনা বেশি থাকে। এতে ধাতুর বিয়োজন হার ২০%~৪০% পর্যন্ত হতে পারে। টাইটানিয়াম আয়নগুলো বিক্রিয়াকারী গ্যাস নাইট্রোজেনের সাথে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করার সম্ভাবনা বেশি রাখে, যার ফলে একটি নাইট্রাইড ম্যান্টল ফিল্ম স্তর অবক্ষেপিত হয়। হলো ক্যাথোড গানটি একই সাথে একটি বাষ্পীভবনের উৎস এবং আরেকটি আয়নীকরণের উৎস। কোটিং করার সময়, ক্রুসিবলের চারপাশের ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলের কারেন্টও সামঞ্জস্য করা উচিত, যাতে ইলেকট্রন রশ্মিকে পতনের কেন্দ্রে কেন্দ্রীভূত করা যায়। এর ফলে ইলেকট্রন প্রবাহের শক্তি ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়।
৯. বিদ্যুৎ সংযোগ বন্ধ করুন। ফিল্মের পুরুত্ব পূর্বনির্ধারিত পুরুত্বে পৌঁছানোর পর, আর্ক পাওয়ার সাপ্লাই, বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং এয়ার সাপ্লাই বন্ধ করে দিন।
পোস্ট করার সময়: ০৮-০৭-২০২৩